[发明专利]一种用于制备柔性OLED的基板及柔性OLED的制备方法在审

专利信息
申请号: 201910007844.1 申请日: 2019-01-04
公开(公告)号: CN109786551A 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: 刘海滨;谭化兵;季恒星 申请(专利权)人: 无锡第六元素电子薄膜科技有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 代理人: 肖淑芳
地址: 214000 江苏省无锡市惠山经*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 基材层 石墨烯 制备 金属膜 耐高温 基板 基底 剥离 金属膜表面 基底表面 激光剥离 涂布基材 良率 固化 拉扯 损伤 制作
【说明书】:

发明提供一种柔性OLED的制备方法,采用用于制备柔性OLED的基板,所述基板包括石墨烯、金属膜和耐高温基底,所述金属膜设置于所述耐高温基底表面,所述石墨烯设置于所述金属膜表面。所述柔性OLED的制备方法包括,在所述基板的石墨烯表面上涂布基材层,然后固化,形成基材层/石墨烯/金属膜/耐高温基底;在基材层上制作OLED面板,形成OLED面板/基材层/石墨烯/金属膜/耐高温基底;和将OLED面板/基材层与石墨烯/金属膜/耐高温基底剥离,得到OLED面板/基材层。使用本发明提供的柔性OLED的制备方法,在将所述基板和所述基材层剥离的过程中,不使用激光剥离,避免了对OLED器件在拉扯中造成的损伤,提升柔性OLED器件的良率。

技术领域

本发明涉及一种用于制备柔性OLED的基板以及柔性OLED的制备方法,属于新显示技术领域。

背景技术

有机发光二极管英文名称为Organic Light-Emitting Diode,缩写是OLED,它又称为有机电激光显示、有机发光半导体。OLED显示技术具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点。

如图1所示,现有的柔性OLED的主要制备的方法为:(1)在玻璃基板11上涂布基材层6然后固化,基材层为PI膜;(2)在固化后的基材层6上进行LTPS工艺,制备TFT阵列7;(3)蒸镀有机功能层8;(4)蒸镀电极层9;(5)蒸镀覆盖层10,得到覆盖层10/电极层9/有机功能层8/TFT阵列7/基材层6/玻璃基板11;(5)使用激光剥离技术使基材层6与玻璃基板11剥离。

通过现有的柔性OLED制备方法制备的OLED的不良产生在激光剥离段,因激光照射很容易造成OLED器件的损伤,且在基板表面有颗粒物的情况下,会造成PI膜接收激光不均匀,这样在剥离过程容易对OLED器件造成拉扯损坏。

背景技术部分的内容仅仅是发明人所知晓的技术,并不当然代表本领域的现有技术。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述现有技术中出现的在制备柔性OLED的过程中,将PI与玻璃基板剥离时对OLED器件的拉扯损坏的问题,提供了一种用于制备柔性OLED的基板,采用本发明基板能够使制备柔性OLED的过程中,PI膜与基板剥离时,OLED器件不会造成拉扯的损伤,提升OLED器件的制备良率;

本发明的另一个目的是提供一种新的柔性OLED的制备方法,该方法采用了上述基板。

为了实现上述目的,本发明采用了如下技术方案。

一种用于制备柔性OLED的基板,所述基板包括石墨烯、金属膜和耐高温基底,所述金属膜设置于所述耐高温基底表面,所述石墨烯设置于所述金属膜表面。

根据本发明的一个方面,所述耐高温基底为玻璃、陶瓷或石英。

根据本发明的一个方面,所述金属膜为铜膜、镍膜或铜镍合金膜。

优选地,所述金属膜为铜膜。

根据本发明的一个方面,所述金属膜的厚度为5-1000nm。

优选地,所述金属膜的厚度为20-100nm。

进一步优选地,所述金属膜的厚度为30nm。

金属膜和金属膜上生长的石墨烯作为用于制备柔性OLED基板的一部分,在制作完成OLED之后将金属膜和石墨烯撕除。金属膜的厚度太厚,会造成资源的浪费,制作效率也会降低,选择此厚度的金属膜能够提高效率、节约成本并能生长出良好的石墨烯。

根据本发明的一个方面,所述石墨烯为CVD法制备的石墨烯。

优选地,所述石墨烯为单层石墨烯。

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