[发明专利]压力传感器以及具有压力传感器的移动装置

说明书

本发明提供一种压力传感器以及具有压力传感器的移动装置，抑制因风流入压力传感器内部而引起的检测精度的下降。本压力传感器的特征在于，具有：检测压力变化的检测元件、以及收纳所述检测元件且具有第一贯通孔与第二贯通孔的盖部件，所述第一贯通孔及所述第二贯通孔都在各自的正面观察下设置在与所述检测元件不重合的位置。

技术领域

本发明涉及压力传感器以及具有压力传感器的移动装置。

背景技术

检测压力的压力传感器已被应用。压力传感器具有检测压力变化的压力检测元件与保护压力检测元件的封装部件。在压力传感器的封装部件设有向封装部件的内部导入压力的导入孔，封装部件外部的气压经由导入孔被导入封装部件的内部，压力检测元件对导入的压力进行检测。

例如，专利文献1已经公开一种半导体压力传感器，其具有压力检测元件、支承压力检测元件的基座、以及具有用于向压力检测元件导入被测量压力的导入孔且固定基座并收纳压力检测元件及基座的封装体，在将基座与封装体之间接合的粘接剂中混入了具有弹性的缓冲部件。专利文献1的半导体压力传感器能够利用混入有缓冲部件的粘接剂来吸收外力及形变，所以能够抑制向封装体施加了外力等的情况下的压力测量的精度下降。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开平10-325769号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

当在压力传感器中风经由导入孔而进入压力传感器内时，进入压力传感器内的风按压压力检测元件，或者压力传感器内的气压升高，由此，通过压力检测元件进行的压力的检测精度下降。

本公开的技术的一个侧面的目的在于抑制因风流入压力传感器内部而引起的检测精度的下降。

用于解决技术问题的技术方案

本公开的技术的一个侧面由如下的压力传感器来例示。本压力传感器的特征在于，具有：检测压力变化的检测元件、以及收纳所述检测元件且具有第一贯通孔与第二贯通孔的盖部件，所述第一贯通孔及所述第二贯通孔都在各自的正面观察下设置在与所述检测元件不重合的位置。

本公开的技术的压力传感器是对从第一贯通孔及第二贯通孔的至少一方导入的外部压力进行检测的传感器。作为压力传感器测量目标的压力例如是盖部件周围的气压。第一贯通孔与第二贯通孔因为在正面观察下设置在与检测元件不重合的位置，所以，能够抑制由从第一贯通孔或第二贯通孔流入盖部件内部的风直接按压检测元件。从第一贯通孔及第二贯通孔的一方流入盖部件内部的风从第一贯通孔及第二贯通孔的另一方排出，所以，能够抑制盖部件内部的压力升高。其结果是，根据本公开的技术，能够抑制因风流入压力传感器内部而引起的检测精度下降。此外，通过如上所述配置第一贯通孔及第二贯通孔，与在导入孔的正面观察下和检测元件重合的区域设有导入孔的压力传感器相比，能够减少由污垢及灰尘等例示的尘土附着于检测元件。因此，根据本公开的技术，能够抑制因尘土的附着而引起的压力的错误检测。

本公开的技术此外也可以具有如下的特征。其特征在于，所述第一贯通孔与所述第二贯通孔相互正对而配置。根据上述技术，因为第一贯通孔及第二贯通孔的另一方位于从第一贯通孔及第二贯通孔一方流入压力传感器内的风的行进方向前方，所以，能够容易地将流入的风从第一贯通孔及第二贯通孔的另一方排出。

本公开的技术此外也可以具有如下的特征。其特征在于，所述盖部件具有将所述盖部件的内部划分为第一室与第二室且具有连通所述第一室与所述第二室的连通孔的壁部，所述第一贯通孔与所述第二贯通孔设置在所述盖部件之中的所述第二室，所述检测元件收纳在所述第一室。连通孔可以为设置在壁部的孔，也可以为壁部与盖内壁的间隙。因为能够由壁部阻挡经由第一贯通孔或第二贯通孔流入第二室的风流入第一室，所以能够抑制设有检测元件的第一室内部的压力升高。