[发明专利]固化树脂用组合物、该组合物的固化物、该组合物和该固化物的制造方法、以及半导体装置

权利要求书

1.一种固化树脂用组合物，含有：

(A)具有至少两个苯并嗪环的多官能苯并嗪化合物，其是选自具有式(1)的结构单元的多官能苯并嗪化合物和由式(2)的结构表示的多官能苯并嗪化合物中的至少1种多官能苯并嗪化合物，

(B)具有至少一个降冰片烷结构和至少两个环氧基的环氧化合物，且其具有下述式(4)中示出的与5元环、6元环或降冰片烷环键合的环氧结构，

(C)联苯型环氧化合物，和

(D)固化剂，

式(1)中，R表示碳原子数1～12的链状烷基、碳原子数3～8的环状烷基或碳原子数6～14的芳基，该芳基可以具有卤素或碳原子数1～12的链状烷基作为取代基，Z表示氢、碳原子数1～8的烃基和/或连接基团，各自可以相同也可以不同，且至少一个为连接基团，苯并嗪环彼此通过该连接基团连接，

式(2)中，L为具有1～5个芳香环的2价有机基团或碳原子数2～10的亚烷基，该有机基团和亚烷基可以含有氧和/或硫，

2.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物，其中，所述(B)具有至少一个降冰片烷结构和至少两个环氧基的环氧化合物为选自下述式(5)中示出的化合物中的至少一种，

3.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物，其中，所述(C)联苯型环氧化合物为由式(3－1)或式(3－2)的结构表示的环氧化合物，

式(3－1)中，取代基R₁为碳原子数1～4的烷基，各自可以相同也可以不同，m为取代基R₁的个数且为0～4的整数，n为平均值且为1～10，

式(3－2)中，R₁～R₈为氢原子、卤素原子或碳原子数1～4的烷基，各自可以相同也可以不同。

4.根据权利要求3所述的固化树脂用组合物，其中，式(3－1)中，m为0，n为2～4，取代基R₁为甲基或乙基，各自可以相同也可以不同。

5.根据权利要求3所述的固化树脂用组合物，其中，式(3－2)中，R₁～R₈为氢原子或甲基，各自可以相同也可以不同。

6.根据权利要求3或5所述的固化树脂用组合物，其中，式(3－2)中，R₁、R₂、R₃和R₄为甲基，R₅、R₆、R₇和R₈为氢原子。

7.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物，其中，成分(B)环氧化合物与成分(C)联苯型环氧化合物的配合比即成分(B)环氧化合物：成分(C)联苯型环氧化合物以质量比计为90：10～10：90。

8.根据权利要求7所述的固化树脂用组合物，其中，成分(B)环氧化合物与成分(C)联苯型环氧化合物的配合比以质量比计为90：10～55：45。

9.根据权利要求8所述的固化树脂用组合物，其中，成分(B)环氧化合物与成分(C)联苯型环氧化合物的配合比以质量比计为80：20～55：45。

10.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物，其中，固化树脂用组合物中的环氧当量比为0.5～1.5。

11.根据权利要求10所述的固化树脂用组合物，其中，固化树脂用组合物中的环氧当量比为0.7～1.2。

12.根据权利要求1所述的固化树脂用组合物，其中，(D)固化剂为选自双(4－羟基苯基)硫醚、下述式(9－2)所示的双酚、2，7－二羟基萘和下述式(9－4)所示的邻苯三酚中的至少1种，