[发明专利]用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器

说明书

本发明涉及用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器，该泄漏检测器包括：用于连接待测物体的检测入口；泵送装置，它包括(i)包括第一驱动电机、串联安装在入口与出口之间的至少一个第一泵送级和一个第二泵送级的第一粗真空泵，(ii)包括第二驱动电机、串联安装在入口与出口之间的至少一个第一泵送级和一个第二泵送级的至少一个第二粗真空泵，第一和第二粗真空泵的入口借助于第一隔离阀并行连接检测入口，和(iii)其出口借助于第二隔离阀连接在第一隔离阀与第一和第二粗真空泵的入口之间的涡轮分子真空泵；和连接涡轮分子真空泵的气体检测器。该泄漏检测器的特征在于，所述至少一个第二粗真空泵的出口在第一粗真空泵的两个串联的泵送级之间连接第一粗真空泵。

技术领域

本发明涉及一种用于检测待测物体的密封性的泄漏检测器。

背景技术

所谓的喷射式泄漏检测技术包括借助于泄漏检测器将待测物体内部的气体排空至低压。然后通过喷雾在物体周围形成富含示踪气体的气氛。泄漏检测器检查所吸入的气体中是否存在任何示踪气体。

该方法依赖于对示踪气体通过待测物体中的任何泄漏部位的检测。通常使用氦气或氢气作为示踪气体，因为这些气体由于它们的分子尺寸小且移动速度快而比其它气体更容易通过小泄漏部位。

为了降低待测物体中的压力，泄漏检测器包括泵送系统，该泵送系统可以包括粗真空泵和安装在粗真空泵的上游并与之串联的涡轮分子真空泵。涡轮分子真空泵首先与待测物体隔离，以使用粗真空泵降低待测物体中的压力，然后在压力越过下限阈值之后连接到待测物体。

为了获得良好的测量灵敏度，泵送系统所实现的极限真空压力必须尽可能低。粗真空泵的泵送速度还必须足以将待测物体内部的压力迅速降低到尽可能低的水平。

为了降低极限真空压力，一种解决方案包括使用具有串联安装的大量泵送级的粗真空泵。然而，此构型不能提高排空期间的泵送速度。

为了提高泵送速度，一种解决方案是将第二粗真空泵与第一粗真空泵并行连接。然而，该解决方案无法降低极限真空压力。这会产生明显的背景噪声，从而使对弱氦信号的检测变得困难。

此外，粗真空泵、尤其是隔膜真空泵的泵送性能会随着老化而降低，从而提高了可以实现的极限真空压力。这会阻碍越过下限压力阈值而使泵送能够切换到涡轮分子真空泵。

一种解决方案是使用附加涡轮分子真空泵，它插置在主涡轮分子真空泵与粗真空泵之间。该附加涡轮分子真空泵在于大气压下抽空物体时连接到待测物体。然而，该解决方案可能相对昂贵。另外，必须由该附加涡轮分子真空泵吸收的重复进气口可能会成为故障的来源。

发明内容

本发明的一个目的是提出一种泄漏检测器，该泄漏检测器能够实现低的极限真空压力，同时在大气压下具有高泵送速度，该泄漏检测器必须随着时间的流逝而具有稳健性，并且具有合理的成本和尺寸。

为此，本发明涉及一种用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器，该泄漏检测器包括：

-用于连接待测物体的检测入口，

-泵送设备，该泵送设备包括：

--第一粗真空泵，其包括第一驱动电机、串联安装在入口与出口之间的至少一个第一和一个第二泵送级，

--至少一个第二粗真空泵，其包括第二驱动电机、串联安装在入口与出口之间的至少一个第一和一个第二泵送级，这些粗真空泵的入口借助于第一隔离阀并行地连接到检测入口，

--涡轮分子真空泵，其具有借助于第二隔离阀连接在第一隔离阀与粗真空泵的入口之间的出口，

-连接到涡轮分子真空泵的气体检测器，

其特征在于，所述至少一个第二粗真空泵的出口在第一粗真空泵的两个串联的泵送级之间连接到第一粗真空泵。