[发明专利]用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器

权利要求书

1.一种用于检查待测物体的密封性的泄漏检测器(1)，所述泄漏检测器(1)包括：

-用于连接到待测物体的检测入口(2)，

-泵送装置(3)，该泵送装置包括：

-第一粗真空泵，它包括第一驱动电机、串联安装在该第一粗真空泵的入口(12)与该第一粗真空泵的出口(13)之间的至少一个第一泵送级和一个第二泵送级，

-至少一个第二粗真空泵，它用于在环境压力下排出待泵送气体，并且包括第二驱动电机、串联安装在第二粗真空泵的入口(14)与第二粗真空泵的出口(15)之间的至少一个第一泵送级和一个第二泵送级，所述第一粗真空泵的入口(12)与所述第二粗真空泵的入口(14)借助于第一隔离阀(8)并行地连接到所述检测入口(2)，

-涡轮分子真空泵(7)，它具有借助于第二隔离阀(9)连接在所述第一隔离阀(8)与所述第一粗真空泵的入口(12)和所述第二粗真空泵的入口(14)之间的出口(17)，

-连接到所述涡轮分子真空泵(7)的气体检测器(4)，

其特征在于，所述至少一个第二粗真空泵的出口(15)在所述第一粗真空泵的两个串联的泵送级之间连接到所述第一粗真空泵。

2.根据权利要求1所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述第二粗真空泵的出口(15)连接在所述第一粗真空泵的倒数第二个泵送级和最后一个泵送级之间。

3.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述第一粗真空泵和第二粗真空泵是隔膜泵，所述第一粗真空泵的泵送级的隔膜构造成借助于所述第一驱动电机移动，所述第二粗真空泵的泵送级的隔膜构造成借助于所述第二驱动电机移动。

4.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述第一粗真空泵和第二粗真空泵各自包括两个转子，所述两个转子构造成被驱动成使得它们在每个泵送级中沿相反的方向以同步方式旋转，所述第一粗真空泵的转子构造成由所述第一驱动电机驱动，所述第二粗真空泵的转子构造成由所述第二驱动电机驱动。

5.根据权利要求4所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述转子是罗茨型转子。

6.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述第一粗真空泵和第二粗真空泵是螺杆泵或涡旋泵。

7.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述第一粗真空泵和第二粗真空泵具有相同的泵送级构型。

8.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述第一粗真空泵和第二粗真空泵中的至少一者包括至少两个并行安装的第一泵送级。

9.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，所述第一粗真空泵和第二粗真空泵中的至少一者包括至少三个串联安装的泵送级。

10.根据权利要求1或2所述的泄漏检测器(1)，其特征在于，它包括净化装置(18)，所述净化装置构造成在所述第二粗真空泵的两个泵送级之间供应净化气体。