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- [发明专利]一种监测腔体泄漏的方法-CN202310658216.6在审
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王林;童光辉;赵嘉;杜廷卫;王阔
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华虹半导体（无锡）有限公司
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2023-06-05
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2023-10-13
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G01M3/38
- 本申请公开了一种监测腔体泄漏的方法，涉及半导体制造领域。该方法包括：实时获取来源于刻蚀机台的设备腔体内的第一光谱信号和第二光谱信号，所述第一光谱信号用于监测第一元素，所述第一元素为存在于空气中的一种元素；所述第二光谱信号用于监测第二元素，所述第二元素为不存在于所述设备腔体中的一种元素；识别所述第一光谱信号的光强，作为第一光强；识别所述第二光谱信号的光强，作为参照光强；基于所述第一光强和参照光强的比值，判断所述设备腔体是否发生泄漏故障。通过对第一光谱信号和第二光谱信号的获取和识别，实现了能够实时监测设备腔体是否发生泄漏的效果。
- 一种监测泄漏方法
- [实用新型]一种金属软管防漏检测装置-CN202320181638.4有效
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王道连;肖元飞;严家建;肖家杰
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铁氟龙防腐科技（江苏）有限公司
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2023-02-01
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2023-09-29
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G01M3/38
- 本实用新型提供了一种金属软管防漏检测装置，涉及防漏检测技术领域，包括底座和酸碱液箱，所述底座顶部的一侧活动设有移动座，且底座顶部的另一侧设有固定座，所述移动座和固定座的内侧均设有套管，所述酸碱液箱一侧的下方连接有加压泵，且加压泵的输出端连接有拉伸管，所诉拉伸管的输出端与移动座上的套管连通；本实用新型通过移动座和固定座上的套管来套设金属软管的两端，关闭电磁阀后，通过加压泵将酸碱液箱内的酸碱液通入金属软管中，这时候，利用夹爪抓住金属软管，配合电磁导轨带动调节部移动，使得夹爪移动，PH试纸接触金属软管的外表面，利用PH试纸与酸碱液的变色反应可以很清晰的测出是否存在渗漏，检测更加准确。
- 一种金属软管防漏检测装置
- [实用新型]一种高效快速泄漏激光检测装置-CN202321143663.X有效
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邓世明;吴波;贾丽娜
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上海克阿斯科技有限公司
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2023-05-12
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2023-09-12
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G01M3/38
- 本申请提供了一种高效快速泄漏激光检测装置，包括包括传送带，传送带由电机进行驱动，传送带的上方中部设置有“U”型的安装架，安装架的内侧顶端固定安装有激光检漏仪，激光检漏仪位于传送带的上方中部，安装架的内侧中部设置有喷涂枪，喷涂枪位于激光检漏仪的左端下侧，喷涂枪位于传送带的上方中部，喷涂枪由伸缩组件带动进行垂直方向滑动，喷涂枪的顶端中部连接有输料管，输料管的进料口位于涂料箱的内侧底部。本实用新型通过在激光检漏仪的下方设置有传送带，从而实现对医药包装进行稳定快速的运输并检测工作，同时通过喷涂枪对不合格的医药包装产品进行喷涂标记，从而方便工作人员对其进行快速的分拣识别工作。
- 一种高效快速泄漏激光检测装置
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