[发明专利]半导体本体有效

专利信息
申请号: 201880015306.0 申请日: 2018-02-28
公开(公告)号: CN110383505B 公开(公告)日: 2022-07-22
发明(设计)人: 约阿希姆·赫特功;马库斯·恩希费尔德 申请(专利权)人: 欧司朗光电半导体有限公司
主分类号: H01L33/14 分类号: H01L33/14;H01L33/32;H01L31/0304;H01L33/12;H01L29/20
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王逸君;丁永凡
地址: 德国雷*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 半导体 本体
【权利要求书】:

1.一种半导体本体(10),所述半导体本体具有:

-p型掺杂区域(20),

-有源区域(30),

-中间层(40),和

-层堆(41),所述层堆包含铟,其中所述层堆(41)中的铟浓度沿着堆叠方向(z)改变,并且所述层堆(41)除了掺杂材料以外借助一种氮化物化合物半导体材料形成,其中

-所述中间层(40)名义上不具有铟并设置在所述层堆(41)和所述有源区域(30)之间,而且直接邻接于所述层堆(41),

-所述中间层(40)和/或所述层堆(41)是至少局部n型掺杂的,

其中所述层堆(41)的第二区域(43)设置在所述层堆(41)的背离第一区域(42)的侧上,并且所述第二区域(43)中的铟浓度朝向所述中间层(40)升高,并且

其中铟浓度在所述层堆(41)的所述第二区域(43)中朝向所述中间层(40)至少升高至阈值,并且在所述层堆(41)的区域中仅在所述第一区域(42)之内再次降低至低于阈值。

2.根据权利要求1所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)的第一区域(42)直接邻接于所述中间层(40),并且所述第一区域(42)中的铟浓度朝向所述中间层(40)降低。

3.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)的所述第二区域(43)直接邻接于所述层堆(41)的所述第一区域(42)。

4.根据权利要求1所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)中的铟浓度朝向所述中间层(40)降低。

5.根据权利要求1所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)中的铟浓度朝向所述中间层(40)升高。

6.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)具有至少一对交替的层,其中每对的第一层(45)是n型掺杂的并且每对的第二层(46)名义上是未掺杂的。

7.根据权利要求6所述的半导体本体(10),

其中每对的第一层(45)具有与每对的第二层(46)不同的铟浓度。

8.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)设置在所述中间层(40)和层序列(50)之间并且所述层序列(50)名义上不具有铟。

9.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),

其中所述有源区域(30)构成用于产生或探测电磁辐射。

10.根据权利要求9所述的半导体本体(10),

其中所述有源区域(30)构成用于产生或探测光。

11.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)沿堆叠方向(z)的层厚度至少为5nm并且小于20nm。

12.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),

其中所述层堆(41)中的铟浓度小于5%。

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