[发明专利]半导体本体有效
申请号: | 201880015306.0 | 申请日: | 2018-02-28 |
公开(公告)号: | CN110383505B | 公开(公告)日: | 2022-07-22 |
发明(设计)人: | 约阿希姆·赫特功;马库斯·恩希费尔德 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/32;H01L31/0304;H01L33/12;H01L29/20 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王逸君;丁永凡 |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 本体 | ||
1.一种半导体本体(10),所述半导体本体具有:
-p型掺杂区域(20),
-有源区域(30),
-中间层(40),和
-层堆(41),所述层堆包含铟,其中所述层堆(41)中的铟浓度沿着堆叠方向(z)改变,并且所述层堆(41)除了掺杂材料以外借助一种氮化物化合物半导体材料形成,其中
-所述中间层(40)名义上不具有铟并设置在所述层堆(41)和所述有源区域(30)之间,而且直接邻接于所述层堆(41),
-所述中间层(40)和/或所述层堆(41)是至少局部n型掺杂的,
其中所述层堆(41)的第二区域(43)设置在所述层堆(41)的背离第一区域(42)的侧上,并且所述第二区域(43)中的铟浓度朝向所述中间层(40)升高,并且
其中铟浓度在所述层堆(41)的所述第二区域(43)中朝向所述中间层(40)至少升高至阈值,并且在所述层堆(41)的区域中仅在所述第一区域(42)之内再次降低至低于阈值。
2.根据权利要求1所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)的第一区域(42)直接邻接于所述中间层(40),并且所述第一区域(42)中的铟浓度朝向所述中间层(40)降低。
3.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)的所述第二区域(43)直接邻接于所述层堆(41)的所述第一区域(42)。
4.根据权利要求1所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)中的铟浓度朝向所述中间层(40)降低。
5.根据权利要求1所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)中的铟浓度朝向所述中间层(40)升高。
6.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)具有至少一对交替的层,其中每对的第一层(45)是n型掺杂的并且每对的第二层(46)名义上是未掺杂的。
7.根据权利要求6所述的半导体本体(10),
其中每对的第一层(45)具有与每对的第二层(46)不同的铟浓度。
8.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)设置在所述中间层(40)和层序列(50)之间并且所述层序列(50)名义上不具有铟。
9.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),
其中所述有源区域(30)构成用于产生或探测电磁辐射。
10.根据权利要求9所述的半导体本体(10),
其中所述有源区域(30)构成用于产生或探测光。
11.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)沿堆叠方向(z)的层厚度至少为5nm并且小于20nm。
12.根据权利要求1或2所述的半导体本体(10),
其中所述层堆(41)中的铟浓度小于5%。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于欧司朗光电半导体有限公司,未经欧司朗光电半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880015306.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:并行调度器架构
- 下一篇:感光组件和摄像模组及其方法和电子设备