[实用新型]一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头

权利要求书

1.一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，包括喷头、固定轴、凹槽、磨损条、第一卡块、第二卡块和卡槽，其特征是：在喷头上设有固定轴和凹槽，凹槽内设有卡槽，卡槽上设有磨损条，磨损条上设有第一卡块和第二卡块。

2.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，其特征是：所述喷头为圆型结构， 喷头的顶部面上设有一个固定轴和若干个凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，其特征是：所述固定轴为圆柱型结构，固定轴设置在喷头的中心，固定轴的顶部面与喷头相平齐，喷头以固定轴为中心进行转动。

4.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，其特征是：所述凹槽为圆型结构，凹槽均匀分布在喷头的顶部面上。

5.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，其特征是：所述凹槽的内侧壁上设有卡槽，卡槽为圆环型结构，卡槽环绕在凹槽的内侧壁上，卡槽与凹槽的顶边和底边相平行。

6.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，其特征是：所述磨损条为长方型结构，磨损条设置在凹槽的内部，磨损条的底部与凹槽的内底面相连接，磨损条的顶部高于凹槽的顶部面，在磨损条的两端分别设有第一卡块和第二卡块。

7.根据权利要求1所述的一种硅片背面损伤用石英玻璃喷头，其特征是：所述第一卡块和第二卡块结构相同，第一卡块和第二卡块呈对称结构设置在磨损条的两端，第一卡块和第二卡块均与磨损条的端面呈垂直结构连接，第一卡块和第二卡块分别卡在磨损条两端的卡槽内部。