[实用新型]具有复合电极的电容器器件结构及电容器

说明书

本实用新型针对现有技术中电容器的电容密度低、器件的抗疲劳特性不佳，连续弯曲多次后电学性能易受到破坏且无法恢复的不足提供一种具有复合电极的电容器器件结构、电容器，这种结构包括顶电极结构和底电极结构，顶电极结构和底电极结构均为复合电极结构，这种电容器包括具有复合电极的电容器器件结构，顶电极进行光刻、湿法腐蚀，形成分立的器件阵列，采用本实用新型结构的具有复合电极的电容器器件结构，极大地降低了底电极和顶电极的面电阻，从而降低器件的高频损耗，也可以减小薄膜弯曲过程中产生的裂缝的，从而有效提高器件的可弯曲特性以及抗疲劳特性，采用本实用新型结构的具有复合电极的电容器，可极大地降低电极的面电阻和抗弯曲特性。

技术领域

本实用新型涉及一种具有复合电极的电容器器件结构、电容器。

背景技术

近些年来，透明柔性电子器件受到越来越多的关注，比如可弯曲的透明显示屏，基于塑料基底的薄膜太阳能电池，以及各种各样的可穿戴设备等。在这些设备中，透明柔性电容器起着重要作用，比如在液晶显示(LCD)和有机发光二极管显示(OLED)的像素驱动电路中作为一种充放电元件，在太阳能电池的透明窗口作为一种储能元件，在透明的数字电路中作为基本的逻辑元件等。传统的平板电容器为金属-绝缘体-金属的三明治结构，由于金属的存在，这种结构的电容器是不透明的，将其应用于显示器件的驱动系统中会显著降低开口率，增加系统能耗，并且不利于全透明显示的实现其在透明电子领域的使用受到限制，另外，这种电容器还存在如电容密度比较低、抗疲劳。目前透明电容器多采用无机透明导电薄膜作为取代金属，来实现电容器的透明性，但无机导电薄膜在表面应力的作用下容易产生裂纹，使器件的抗疲劳特性不佳，即连续弯曲多次后电学性能如电容密度、漏电流密度、工作频率范围等性能受到破坏无法恢复。针对这个问题，如何对导电薄膜进行改性，以提高器件的抗疲劳特性将是一件非常有意义的事情。有机高分子导电材料作为导电电极，在它制备的过程中需要烘干，需要将溶剂蒸发掉，因其溶剂有毒性，所以，在制作过程中散发毒性。

实用新型内容

本实用新型的目的是，针对现有技术电容器的电容密度低、器件的抗疲劳特性不佳，连续弯曲多次后电学性能易受到破坏且无法恢复的不足提供一种具有复合电极的电容器器件结构、电容器。

本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的：

一种具有复合电极的电容器器件结构,包括顶电极结构和底电极结构，顶电极结构和底电极结构间设置有介质层，顶电极结构和底电极结构均为复合电极结构，所述的复合电极结构包括底层、顶层和导线层，所述导线层网状分布在所述底层表面，顶层设置在底层上覆盖所述导线层，底层和顶层均为导电氧化物薄膜，导线层与顶层和底层均欧姆连接；

顶层通过ALD沉积的方式沉积在设置有导线层的底层上；

介质层通过ALD沉积方式沉积在底电极的顶层上；

介质层为Al₂O₃、Y₂O₃、ZrO₂、TiO₂、Ta₂O₅中的一层或两层以上的原子层沉积复合层；

导电氧化物薄膜为AZO或ITO薄膜或二者的原子层沉积复合薄膜；

介质层的厚度为5～50nm，所述导电氧化物薄膜的厚度为5-200nm，所述导线层的导线为纳米级柔性导线；

底电极的底层通过ALD沉积方式沉积在衬底上；

导线层中的导线相互导通固定连接成一体；

底电极的底层通过ALD沉积方式沉积在衬底上，所述的顶层通过ALD沉积的方式沉积在设置有导线层的底层上，所述的介质层通过ALD沉积方式沉积在底电极的顶层上，所述顶电极的底层通过ALD沉积方式沉积在介质层上。