[实用新型]晶圆清洗装置

权利要求书

1.一种晶圆清洗装置，包括腔体以及位于所述腔体内部的卡盘，其特征在于，还包括喷嘴；所述喷嘴用于向所述卡盘喷射去离子水，所述卡盘能够绕其轴向旋转，以将所述卡盘上的去离子水抛甩至所述腔体内壁，实现对所述卡盘和腔体内壁的清洗。

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括设置于所述腔体底部、用于支撑所述卡盘的支撑柱；所述支撑柱能够带动所述卡盘沿竖直方向进行升降运动。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括与所述腔体连通、用于回收化学药液的回收管道，所述回收管道中设置有三向阀，用以将清洗所述卡盘和所述腔体内壁产生的废液与清洗晶圆过程中的回收药液分离。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述回收管道包括均与所述腔体连通的第一回收管道和第二回收管道，所述第一回收管道与所述第二回收管道中均设置有三向阀，且所述第一回收管道设置于所述第二回收管道上方。

5.根据权利要求4所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括与所述腔体连通的去离子水管道；所述去离子水管道，设置于所述第一回收管道上方，用于回收从所述腔体排出的去离子水。

6.根据权利要求2所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括第一电机；所述第一电机，连接所述支撑柱，用于调整所述支撑柱带动所述卡盘沿竖直方向进行升降运动的速度。

7.根据权利要求6所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括第二电机；所述第二电机，连接所述卡盘，用于调整所述卡盘绕其轴向进行旋转运动的转速。

8.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，还包括电磁阀；所述电磁阀，连接所述喷嘴，用于调节从所述喷嘴喷出的去离子水的流量。

9.根据权利要求1所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述喷嘴还用于向所述卡盘喷射气体，以清除所述卡盘及所述腔体内壁残留的去离子水。

10.根据权利要求9所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述气体为氮气、氦气、氖气、氩气中的一种。