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- [发明专利]一种化学槽的自动清洗装置-CN201510397251.2在审
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吴军;李阳柏;张传民
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上海华力微电子有限公司
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2015-07-08
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2015-09-16
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H01L21/02
- 本发明公开了一种化学槽的自动清洗装置，包括清洗药液供给配管、清洗药液排放配管以及药液控制单元；清洗药液供给配管用于向化学槽输送去除颗粒杂质的清洗药液，清洗药液供给配管上具有控制清洗药液输送的输送开关；清洗药液排放配管用于排放化学槽内清洗后的清洗药液，清洗药液排放配管上具有控制清洗药液排放的排放开关；药液控制单元用于控制输送开关以及排放开关的启闭以及清洗药液的流量和清洗时间。本发明通过设置的清洗药液供给配管、清洗药液排放配管以及药液控制单元对化学槽内累积的颗粒杂质进行及时并彻底的清洗，避免了对后续化学槽内待清洗的硅片形成交叉污染，提高了硅片的洁净度。
- 一种化学自动清洗装置
- [其他]无空气药液贮存容器-CN87216157无效
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杨贤飞
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杨贤飞
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1987-12-11
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1988-09-28
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B65D81/20
- 本实用新型为一使化学药液始终隔绝空气的化学药液容器。为解决遇空气易氧化的化学药液的贮存问题，发明无空气药液贮存容器，从而将贮存期延长。无空气药液贮存容器由设有导管及开关装置的软质内容器和设有活动盖的硬质外容器两大部分组成。以内容器盛化学药液并放入外容器内成型。本实用新型主要用于遇空气易氧化的化学药液(如摄影药液)在使用、存放、及运输过程中的贮存。
- 空气药液贮存容器
- [实用新型]半导体制造用化学药液的温度控制装置-CN202022637924.6有效
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方珉喆
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方珉喆
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2020-11-16
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2021-12-14
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F25B21/02
- 本实用新型公开一种半导体制造用化学药液的温度控制装置。本实用新型的半导体制造用化学药液的温度控制装置安装于化学药液循环供应管以控制化学药液的温度，其包括：第1散热设备部(100)，其在内部形成有冷却水流路；多个热电模块(200)，其分别与所述第1散热设备部的两侧面接触地设置；及第2散热设备部(300)，中间隔着所述第1散热设备部(100)分别与所述多个热电模块(200)接触地设置，并设有沿着其内部流动化学药液的多个化学药液流路管(310)。根据本实用新型，能够提高从第2散热设备部向化学药液的热传送效率，而能够便利有效地进行化学药液的温度控制。
- 半导体制造化学药液温度控制装置
- [实用新型]化学药液分配系统-CN201520135308.7有效
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何金群;王锐廷;张豹
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北京七星华创电子股份有限公司
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2015-03-10
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2015-09-09
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种化学药液分配系统，包括：储液罐，具有回液入口和出液口；化学药液循环管线，一端与回液入口相连，另一端与出液口相连，该化学药液循环管线上设有循环泵；化学药液输出管线，一端与化学药液循环管线相连，另一端与工艺单元相连，该化学药液输出管线上设有流量计及阀门元件，该流量计用于检测工艺单元输入端的化学药液流量；控制器，用于控制所述循环泵的转速。其中，当需将化学药液输送到所述工艺单元、且所述阀门元件切换为使所述流量计与所述工艺单元之间的传输路径连通之前，所述控制器根据当前流量计检测的化学药液流量控制所述循环泵的转速。
- 化学药液分配系统
- [发明专利]多种化学品药液分离、重复使用装置-CN200810230102.7有效
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徐春旭;孙东丰
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2008-12-24
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2010-06-30
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C23F1/46
- 本发明是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术，具体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置，可将多种化学药液分离，再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度，实现再利用，该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。本发明通过不同药液的回收切换装置，使化学品根据显影液归于不同的回收容器化学药液灌中。
- 多种化学品药液分离重复使用装置
- [实用新型]多种化学品药液分离、重复使用装置-CN200820232008.0无效
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徐春旭;孙东丰
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沈阳芯源微电子设备有限公司
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2008-12-24
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2009-10-21
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C23F1/46
- 本实用新型是应用于半导体制程中刻蚀部分针对多种化学药液再回收利用的技术，具体为一种多种化学品药液分离、重复使用装置，可将多种化学药液分离，再将回收的化学药液配比成可重复使用的浓度，实现再利用，该技术可大大减少刻蚀过程中化学药液的浪费该装置主要设有药液杯、旋转马达、导向电机、回收液罐、再生液罐，导向电机与一段管路连接，管路上端与药液杯连通，管路下端通过导向电机旋转不同的方向与下面的至少一个收集杯口中心对应；回收液罐与再生液罐的入口通过管路相连，再生液罐的出口插设有管路，该管路另一端至药液杯上方，与晶片对应。本实用新型通过不同药液的回收切换装置，使化学品根据显影液归于不同的回收容器化学药液灌中。
- 多种化学品药液分离重复使用装置
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