[发明专利]一种集成电路板及其制备方法有效
| 申请号: | 201811492208.4 | 申请日: | 2018-12-07 |
| 公开(公告)号: | CN109600937B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
| 发明(设计)人: | 张超 | 申请(专利权)人: | 江门市江海区科诺微电子有限公司 |
| 主分类号: | H05K3/40 | 分类号: | H05K3/40 |
| 代理公司: | 杭州知管通专利代理事务所(普通合伙) 33288 | 代理人: | 黄华 |
| 地址: | 529000 广东省江门市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 集成 电路板 及其 制备 方法 | ||
1.一种集成电路板的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
A、对基板进行前处理,前处理包括清洗、刻蚀;
B、对经过步骤A前处理的基板进行定位钻孔,制作通孔;
C、在通孔内表面涂覆隔离层,然后在通孔内表面沿轴向均匀开设若干个凹槽;凹槽的侧壁为弧形,凹槽的底面设置有若干个条形凸起;
D、对步骤C加工出的凹槽进行第一次电镀处理;
E、去除通孔内表面残余的隔离层,然后对通孔内表面进行第二次电镀处理;
F、对基板进行裁板压膜后进行二次刻蚀;
G、对基板涂覆阻焊层,然后经过表面处理得到成品集成电路板。
2.根据权利要求1所述的集成电路板的制备方法,其特征在于:凹槽的顶部宽度小于凹槽的底部宽度,凹槽宽度的最大值小于相邻凹槽之间的间距。
3.根据权利要求1所述的集成电路板的制备方法,其特征在于:步骤D中,第一次电镀处理包括以下步骤,
D1、将基板浸入第一电镀液中,第一电镀液含有235~280g/L的硫酸铜、80~100g/L的硫酸;
D2、电镀时间为1~2min,电流密度为10~12ASD,电镀液喷射流速为3~5L/min;
D3、电镀结束后,对电镀表面进行粗糙打磨处理。
4.根据权利要求3所述的集成电路板的制备方法,其特征在于:步骤E中,第二次电镀处理包括以下步骤,
E1、将基板浸入第二电镀液中,第二电镀液含有120~150g/L的硫酸铜、40~50g/L的硫酸;
E2、第一阶段电镀时间为3~5min,电流密度为4~5ASD,电镀液喷射流速为1~2L/min;
E3、第二阶段电镀时间为1~2min,电流密度为7~10ASD,电镀液喷射流速为1~2L/min;
E3、第三阶段电镀时间为5~10min,电流密度为1~2ASD,电镀液喷射流速为4~5L/min。
5.根据权利要求4所述的集成电路板的制备方法,其特征在于:步骤E3中,在电镀液中加入20~50g/L的硝酸银。
6.一种集成电路板,其特征在于:使用权利要求1-5任意一项所述的集成电路板的制备方法制备而成。
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