[发明专利]一种半导体吸取装置有效
申请号: | 201811230777.1 | 申请日: | 2018-10-22 |
公开(公告)号: | CN110355778B | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 王浩;王刚;孙益生 | 申请(专利权)人: | 江苏艾科半导体有限公司 |
主分类号: | B25J15/06 | 分类号: | B25J15/06 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 于贺贺;邱兴天 |
地址: | 212000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 吸取 装置 | ||
1.一种半导体吸取装置;其特征在于:包括一吸取固定座(1);该所述的吸取固定座(1)的中心位置处设置有一吸孔(2);该所述的吸孔(2)的上端连接安装有吸管(3);该所述的吸管(3)连接到真空设备上;而吸取固定座(1)的下端面上则以吸孔(2)为中心向外侧逐渐设置有若干层的密封框(4);所述密封框(4)的下端均为开口设计,并且每一密封框(4)均将其内侧相邻的密封框(4)整体包括在内;且所述的密封框(4)与吸取固定座(1)的下端面设置为可拆卸安装;吸取固定座(1)的下端面上其最内侧的密封框(4)中以及相邻的密封框(4)之间均填充有透气料(5);每一层透气料(5)的上端均安装在吸取固定座(1)的下端面上,而每一层透气料(5)的边侧部位则与密封框(4)为不固定的分离式安装结构,位于最内侧的密封框(4)中填充的透气料(5)将吸取固定座(1)的吸孔(2)覆盖住;
所有的密封框(4)的高度均相同;而所述的透气料(5)的厚度则大于密封框(4)的高度,透气料(5)的端部从密封框(4)中伸出;
所述的吸取固定座(1)的下端面设置有与密封框(4)位置相对应的卡槽(6);而所述的密封框(4)的上端则有与卡槽(6)配合使用的卡块(7);所述的密封框(4)通过卡槽(6)和卡块(7)的配合可拆卸安装。
2.根据权利要求1所述的一种半导体吸取装置;其特征在于:所述的透气料(5)的端部从密封框(4)中伸出的厚度设置为2-6mm。
3.根据权利要求1所述的一种半导体吸取装置;其特征在于:所述的密封框(4)设置为方形框体结构,并且整体通过四条边安装而成,并且相邻密封框(4)之间的直线距离相同。
4.根据权利要求1所述的一种半导体吸取装置;其特征在于:所述的密封框(4)设置为圆形框体结构,并且为一体式的安装结构,并且相邻密封框(4)之间的直线距离相同。
5.根据权利要求1所述的一种半导体吸取装置;其特征在于:所述的透气料(5)设置为海绵,并且所述的透气料(5)通过胶水固定在吸取固定座(1)的下端面。
6.根据权利要求1所述的一种半导体吸取装置;其特征在于:所述的卡槽(6)和卡块(7)上还均设置有磁铁(9),通过磁铁(9)对应可拆卸安装。
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