[发明专利]掩膜版及其制作方法、蒸镀方法、显示屏

权利要求书

1.一种掩膜版，其特征在于，所述掩膜版包括：

基板，所述基板具有至少一个开口，所述开口在待制作的显示屏的显示平面上的正投影与所述待制作的显示屏的显示区重合；

遮挡部，设置于所述开口内部，所述遮挡部在所述显示平面上的正投影与所述待制作的显示屏中需进行遮挡的部件在所述显示平面上的正投影重合；

连接部，位于所述遮挡部和所述开口的侧壁之间，所述连接部用于连接所述遮挡部和所述开口的侧壁。

2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述连接部具有网状结构。

3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，所述网状结构的每个网眼在所述显示平面上的正投影覆盖所述待制作的显示屏上相应区域的至少一个子像素，且所述网状结构的实体部分在所述显示平面上的正投影处于所述待制作的显示屏上相应区域的各子像素之间的间隙区域内。

4.根据权利要求3所述的掩膜版，其特征在于，所述网状结构中相邻的两个网眼之间的实体部分具有贯通该相邻的两个网眼的缺口。

5.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述连接部为整体结构且为轴对称结构，所述连接部的对称轴过所述遮挡部的中心且垂直于所述连接部所连接的开口边；

所述连接部与所述遮挡部相连的一端的宽度小于或等于所述遮挡部沿垂直于所述连接部的对称轴的方向上的最大宽度，所述连接部与所述开口侧壁相连的一端的宽度大于或等于所述连接部与所述遮挡部相连的一端的宽度。

6.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述连接部包括至少两个子连接部，所述至少两个子连接部相对于过所述遮挡部的中心且垂直于所述连接部所连接的开口边的直线对称布置；

每个所述子连接部与所述开口侧壁相连的一端的宽度大于或等于所述子连接部与所述遮挡部相连的一端的宽度。

7.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述连接部与所述遮挡部最靠近的开口的侧壁相连接。

8.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述基板、所述遮挡部和所述连接部为一体结构。

9.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述遮挡部在所述显示平面上的正投影的形状与其所对应的需进行遮挡的部件在所述显示平面上的正投影的形状相同，所述遮挡部在所述显示平面上的正投影的面积等于或略大于其所对应的需进行遮挡的部件在所述显示平面上的正投影的面积。

10.一种掩膜版的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

提供基板；

去除所述基板中的特定部分，以在所述基板上形成至少一个开口、遮挡部、及连接部；

其中，所述开口在待制作的显示屏的显示平面上的正投影与所述待制作的显示屏的显示区重合，所述遮挡部和所述连接部位于所述开口内部，所述遮挡部在所述显示平面上的正投影与所述待制作的显示屏中需进行遮挡的部件在所述显示平面上的正投影重合，所述连接部连接于所述遮挡部和所述开口的侧壁之间。

11.根据权利要求10所述的掩膜版的制作方法，其特征在于，所述去除所述基板中的特定部分，以在所述基板上形成至少一个开口、遮挡部、及连接部的步骤，包括：

采用湿法刻蚀工艺或激光刻蚀工艺，去除所述基板中待形成开口区域内除待形成遮挡部及连接部以外的区域的部分，并且在待形成连接部区域内制作网眼，形成所述至少一个开口、所述遮挡部、及具有网状结构的所述连接部；或者，

采用湿法刻蚀工艺，去除所述基板中待形成开口区域内除待形成遮挡部及连接部以外的区域的部分，形成所述至少一个开口、所述遮挡部、及所述连接部的雏形；

采用激光刻蚀工艺刻蚀所述连接部的雏形，在所述连接部的雏形中制作网眼，得到具有网状结构的连接部。