[发明专利]检查气体供给系统的方法

权利要求书

1.一种检查基板处理装置的气体供给系统的方法，其中，

所述基板处理装置具备：

腔室主体，提供腔室；及

所述气体供给系统，以向所述腔室供给气体的方式构成，

所述气体供给系统具有气体供给单元，

所述气体供给单元具有：

气化器，以通过使液体气化来产生处理气体的方式构成；

一级阀，与所述气化器连接；

流量控制器，设置于所述一级阀的二次侧且与该一级阀连接；

二级阀，设置于所述流量控制器的二次侧且与所述流量控制器连接；及

配管，提供连接用于将所述处理气体导入到所述腔室的气体导入口与所述二级阀的气体供给管路，

所述基板处理装置还具备：

压力传感器，以获取所述气体供给管路的压力的测定值的方式构成；及

排气装置，与所述气体供给管路连接，

该方法包括：

停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的工序；及

在停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的期间对通过所述压力传感器获取的所述测定值的变化进行监控的工序，

对所述测定值的变化进行监控的所述工序包括：

在停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的期间且在基于所述排气装置的所述气体供给管路的排气期间获取通过所述压力传感器获取的所述测定值的减少速度的步骤；或

在停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的期间，所述气体供给管路不通过所述排气装置进行排气的状态下，检查通过所述压力传感器获取的所述测定值是否上升的步骤。

2.根据权利要求1所述的检查基板处理装置的气体供给系统的方法，其中，

在对所述测定值的变化进行监控的所述工序中，获取所述测定值的减少速度，

该方法还包括将所述减少速度与规定值进行比较的工序。

3.根据权利要求2所述的检查基板处理装置的气体供给系统的方法，其还包括：

在停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体的期间，所述气体供给管路不通过所述排气装置进行排气的状态下，检查通过所述压力传感器获取的所述测定值是否上升的工序。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查基板处理装置的气体供给系统的方法，其还包括：

在已停止从所述气化器向所述气体供给管路供给所述处理气体且所述流量控制器的控制阀关闭的状态下，通过所述排气装置对所述气体供给管路进行排气的工序；

在执行对所述气体供给管路进行排气的所述工序之后，在已停止基于所述排气装置的所述气体供给管路的排气且所述控制阀及所述二级阀关闭的状态下通过所述压力传感器获取所述气体供给管路的压力的第1测定值的工序；

执行获取第1测定值的所述工序之后，在已停止基于所述排气装置的所述气体供给管路的排气并且所述控制阀关闭且所述二级阀开启的状态下，通过所述压力传感器获取所述气体供给管路的压力的第2测定值的工序；及

对所述第1测定值与所述第2测定值进行比较的工序。