[发明专利]供给装置及供给方法有效

专利信息
申请号: 201610756387.2 申请日: 2016-08-29
公开(公告)号: CN106505024B 公开(公告)日: 2021-11-02
发明(设计)人: 黑泽佑太 申请(专利权)人: 琳得科株式会社
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 刘晓迪
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 供给装置具有第一收纳单元(20)及第二收纳单元(30)、取出单元(40),所述第一收纳单元(20)及第二收纳单元(30)可收纳被搬送物(RF),所述取出单元(40)对被收纳在第一收纳单元(20)或者第二收纳单元(30)的被搬送物(RF)进行保持而在规定的取出方向上移动而将其取出,从而将该被搬送物(RF)配置在规定的交接位置,若在进行由取出单元(40)从第一收纳单元(20)取出被搬送物(RF)的动作的期间输入第一信号,则第二收纳单元(30)位于第一收纳单元(20)与交接位置之间,取出单元(40)开始从该第二收纳单元(30)取出被搬送物(RF)的动作。
搜索关键词: 供给 装置 方法
【主权项】:
一种供给装置,将被搬送物向规定的位置供给,其特征在于,具有:第一收纳单元及第二收纳单元,其可收纳所述被搬送物;取出单元,其对被收纳在所述第一收纳单元或者所述第二收纳单元的被搬送物进行保持而在规定的取出方向上移动并将其取出,从而将该被搬送物配置在规定的交接位置,若在进行由所述取出单元将所述被搬送物从所述第一收纳单元取出的动作期间输入第一信号,则所述第二收纳单元位于所述第一收纳单元与所述交接位置之间,所述取出单元开始从该第二收纳单元取出所述被搬送物的动作。
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