[发明专利]各向异性导电膜及其制造方法在审
申请号: | 201810058617.7 | 申请日: | 2014-07-29 |
公开(公告)号: | CN109087900A | 公开(公告)日: | 2018-12-25 |
发明(设计)人: | 猿山贤一;阿久津恭志 | 申请(专利权)人: | 迪睿合株式会社 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/48;C09J4/02;C09J4/06;C09J9/02;C09J11/04;H01R4/04;H05K3/32 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 童春媛;万雪松 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 导电颗粒 各向异性导电膜 绝缘性树脂层 非对称 电子部件 厚度分布 短路 排列层 导电 制造 | ||
1.各向异性导电膜,该各向异性导电膜具有多个导电颗粒以规定的排列保持于绝缘性树脂层而得到的导电颗粒排列层,其中,保持导电颗粒的排列的绝缘性树脂层的各个导电颗粒周围的树脂量的厚度分布具有在膜俯视下的膜平面方向中树脂量变少的方向,所述树脂量变少的方向对多个导电颗粒而言是一致的,且各个导电颗粒周围的绝缘性树脂层的厚度分布在各向异性导电膜的整个区域一致。
2.权利要求1所述的各向异性导电膜,其中,沿着所述树脂量变少的方向且以通过导电颗粒的中心的方式将各向异性导电膜在其厚度方向上切断时,在各向异性导电膜的截面中,就该导电颗粒周围的绝缘性树脂层的面积而言,相对于导电颗粒在膜厚度方向的中心轴,树脂量少的一侧的面积比树脂量多的一侧的面积小。
3.权利要求2所述的各向异性导电膜,其中,相对于所述导电颗粒在膜厚度方向的中心轴,树脂量少的一侧是沿各向异性导电膜的厚度方向竖起的悬崖状,树脂量多的一侧相对于各向异性导电膜的厚度方向倾斜。
4.权利要求2所述的各向异性导电膜,其中,相对于所述导电颗粒在膜厚度方向的中心轴,树脂量少的一侧是沿各向异性导电膜的厚度方向竖起的悬崖状,树脂量多的一侧为阶梯状。
5.权利要求1-4中任意一项所述的各向异性导电膜,其中,各个导电颗粒周围的绝缘性树脂层具有斜圆锥台形状或斜矩形锥台形状。
6.权利要求1-4中任意一项所述的各向异性导电膜,其中,导电颗粒排列层的一个面平坦,另一个面具有凹凸,且第2绝缘性树脂层层合在该具有凹凸的面上。
7.权利要求6所述的各向异性导电膜,其中,第3绝缘性树脂层层合在导电颗粒排列层的平坦面上。
8.各向异性导电膜的制造方法,所述各向异性导电膜为权利要求1所述的各向异性导电膜,该制造方法具有以下工序:
向表面具有多个开口部的转印模填充导电颗粒的工序,
在导电颗粒上层合绝缘性树脂的工序,以及
形成导电颗粒排列层的工序,其中,使多个导电颗粒以规定的排列保持于绝缘性树脂层,从转印模向绝缘性树脂层转印;
且使用如下的转印模:使控制绝缘性树脂层的导电颗粒周围的树脂量的各个开口部的深度分布,产生在膜俯视下的膜平面方向中树脂量变少的方向。
9.权利要求8所述的制造方法,其中,由厚度方向切断转印模时,在转印模的截面中,通过开口部最深部的中心的铅垂线的一侧的开口部的面积比另一侧的面积小。
10.权利要求8或9所述的制造方法,其中,由厚度方向切断转印模时,在转印模的截面中,开口部的相向侧壁中的一方沿转印模的厚度方向竖起成悬崖状,另一方与所述一方的侧壁相比,相对于各向异性导电膜的厚度方向倾斜。
11.权利要求8或9所述的制造方法,其中,由厚度方向切断转印模时,在转印模的截面中,开口部的相向侧壁中的一方沿转印模的厚度方向竖起成悬崖状,另一方为阶梯状。
12.权利要求8或9所述的制造方法,其中,在形成导电颗粒排列层的工序中,将绝缘性树脂层聚合。
13.权利要求8或9所述的制造方法,其中,使用光自由基聚合型树脂作为绝缘性树脂,通过紫外线照射将层合在导电颗粒上的绝缘性树脂聚合。
14.权利要求8或9所述的制造方法,其中,在绝缘性树脂层的导电颗粒转印面上层合第2绝缘性树脂层。
15.权利要求14所述的制造方法,其中,在绝缘性树脂层的与导电颗粒转印面相反一侧的面上层合第3绝缘性树脂层。
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