专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]非对称光栅标记的误差检测方法及装置-CN202310077659.6在审
  • 李璟;杨光华;邱俊;折昌美 - 中国科学院微电子研究所
  • 2023-01-17 - 2023-05-12 - G01B11/00
  • 本公开提供一种非对称光栅标记的误差检测方法及装置,方法包括:通过空间相干光对待测非对称光栅标记进行照射,得到不同衍射级次的第一衍射光束,空间相干光采用部分光瞳光束;根据第一衍射光束,建立理想光栅标记;根据先验非对称光栅标记和理想光栅标记,得到先验非对称光栅标记中的第一误差特征;根据第一误差特征,对待测非对称光栅标记进行重建,得到多个重建非对称光栅标记;迭代对比多个重建非对称光栅标记和待测非对称光栅标记,得到目标重建非对称光栅标记,目标重建非对称光栅标记的特征值与待测非对称光栅标记的特征值的差值小于第一阈值;根据目标重建非对称光栅标记的误差,得到待测非对称光栅标记的误差。
  • 对称光栅标记误差检测方法装置
  • [发明专利]对准误差测量方法-CN201911212303.9有效
  • 齐月静;杨光华;王宇;李璟;卢增雄;齐威;孟璐璐 - 中国科学院微电子研究所
  • 2019-11-29 - 2021-08-13 - G03F9/00
  • 一种对准误差测量方法,用于测量非对称的第一对准标记引入的对准误差,方法包括:根据非对称位置确定至少四种类型的非对称对准标记,每一非对称对准标记包括一种所述非对称位置,所述第一对准标记包括至少一种非对称位置;测量每一非对称对准标记引入的对准误差分量,以及测量第一对准标记对应的第一测量信号;利用电磁仿真模型分别获取对称对准标记、每一非对称对准标记对应的理论测量信号;根据第一测量信号、对称对准标记对应的理论测量信号、每一非对称对准标记对应的理论测量信号和对准误差分量计算每一非对称对准标记对应的权重因子;根据每一非对称对准标记对应的权重因子和对准误差分量计算第一对准标记引入的对准误差。
  • 对准误差测量方法

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