[发明专利]通过物理气相沉积制备的生物传感器电极

权利要求书

1.用于分析生物样品的生物传感器组件，所述生物传感器组件包含：

基底；

沉积在所述基底上的导电层；

沉积在所述导电层上的电阻材料层，其中所述电阻材料层包含非晶碳；和

用于与所述生物样品电化学反应的生物反应物，

其中所述导电层包含镍、铬和铁，

其中所述导电层中的镍和铬的总重量%为25至小于95重量%，

其中所述导电层中的镍的重量%为至少4重量%，

其中所述导电层中的铬的重量%为至少10重量%，

其中所述导电层中的铁的重量%为至少2重量%，且

其中所述导电层包含0至20重量%钼。

2.根据权利要求1的生物传感器组件，其中所述生物传感器组件包括电极，其中所述电极是工作电极或参比电极或对电极。

3.根据权利要求1或2的生物传感器组件，其中所述生物传感器是血糖传感器。

4.根据权利要求1-3任一项的生物传感器组件，其中所述生物传感器组件包括试纸。

5.根据权利要求1-4任一项的生物传感器组件，其中所述基底具有25至500 µm的厚度，所述导电层具有15至200 nm的厚度，且所述电阻材料层具有5至200 nm的厚度。

6.根据权利要求1-5任一项的生物传感器组件，其中所述导电层溅射在所述基底上且所述电阻材料层溅射在所述导电层上。

7.根据权利要求1-6任一项的生物传感器组件，其中所述导电层中的镍的重量%为8至81重量%。

8.根据权利要求7的生物传感器组件，其中所述导电层中的铬的重量%为14至20重量%。

9.根据权利要求8的生物传感器组件，其中所述导电层中的铁的重量%为6至74重量%。

10.根据权利要求1-6任一项的生物传感器组件，其中所述导电层中的镍的重量%为70至81重量%。

11.根据权利要求10的生物传感器组件，其中所述导电层中的铬的重量%为14至17重量%。

12.根据权利要求11的生物传感器组件，其中所述导电层中的铁的重量%为6至10重量%。

13.根据权利要求1-6任一项的生物传感器组件，其中所述导电层中的镍的重量%为8至11重量%。

14.根据权利要求13的生物传感器组件，其中所述导电层中的铬的重量%为18至20重量%。

15.根据权利要求14的生物传感器组件，其中所述导电层中的铁的重量%为65至75重量%。

16.根据权利要求1-15任一项的生物传感器组件，其中所述导电层包含0至13重量%钼。

17.根据权利要求1-16任一项的生物传感器组件，其中所述导电层包含0至0.2重量%钼。

18.根据权利要求1-17任一项的生物传感器组件，其中所述导电层不含钼。

19.根据权利要求1-18任一项的生物传感器组件，其中所述导电层不包含基于等于100重量%的导电层总重量计以大于3重量%的量存在的任何其它元素物质。

20.根据权利要求1-19任一项的生物传感器组件，其中所述基底包含柔性非导电膜。