[发明专利]操作真空处理系统的方法

说明书

描述一种操作真空处理系统(100、200、300)的方法，所述真空处理系统具有主要传输路径(50)，基板可沿着主要传输路径(50)在主要传输方向(Z)上传输。方法包括：(1a)从主要传输路径(50)输送出基板(10)至第一沉积模块(D1)中以在基板(10)上沉积第一材料；(1b)从主要传输路径(50)输送出基板(10)至第二沉积模块(D2)中以在基板(10)上沉积第二材料；和(1c)从主要传输路径(50)输送出基板(10)至一个或多个沉积模块以在基板(10)上沉积一种或多种材料。此外，描述了操作真空处理系统的一个或多个旋转模块的多种方法，所述真空处理系统经构造以在多个基板上沉积两种或更多种材料。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及操作真空处理系统的方法，特别是在多个基板上沉积两种、三种或更多种不同材料。实施方式特别涉及操作真空处理系统的方法，其中被基板载体保持的基板在真空处理系统中沿着基板传输路径传输例如被进入各种沉积模块和离开各种沉积模块。

背景技术

使用有机材料的光电装置出于多个原因而变得越来越普遍。用于制造上述装置的许多材料是相对廉价的，因此有机光电装置相较于无机装置具有成本优势的潜力。有机材料的固有特性(例如柔性)有利于诸如用于在柔性或非柔性基板上进行沉积的应用。有机光电装置的例子包括有机发光装置、有机光电晶体管(organic phototransistors)、有机光伏电池(organic photovoltaic cells)与有机光电检测器(organic photodetectors)。

有机发光二极管(OLED)装置的有机材料相较于传统材料可具有性能优势。例如，在有机发射层发射的光的波长可容易地通过适合的掺杂剂来调整。OLED装置使用在电压被施加至装置时发光的薄有机膜。OLED装置变成用于诸如平板显示器、照明和背光的应用中的越来越令人感兴趣的技术。

材料，特别是有机材料，通常在次大气压(sub-atmospheric pressure)下沉积在真空处理系统中的基板上。在沉积期间，掩模装置可被布置在基板的前方，其中掩模装置可具有限定开口图案的至少一个开口或多个开口，开口图案对应于待沉积(例如通过蒸发)于基板上的材料图案。基板在沉积期间通常布置在掩模装置之后，并相对于掩模装置对准。例如，掩模载体可用于将掩模装置传输至真空处理系统的沉积腔室中，基板载体可用于将基板传输至沉积腔室中以将基板布置在掩模装置之后。

通常，两种、三种、五种、十种或更多种材料可随后被沉积在基板上，例如用来制造彩色显示器。处理包括用于在多个基板上沉积不同材料的多个沉积模块的真空处理系统可能是困难的。特别地，在用于沉积不同材料的大型真空处理系统中处理基板传输(substrate traffic)与掩模传输(mask traffic)可能是具有挑战的。

因此，提供可靠操作用于在多个基板上来沉积材料的真空处理系统的方法是有益的。特别地，简化和加速经构造以用于在基板上进行掩模沉积的真空处理系统中的基板与掩模的传输与交换是有益的。

发明内容

鉴于上述，提出操作真空处理系统的多种操作方法与用于在多个基板上沉积不同材料的真空处理系统。

根据本公开内容的一个方面，提出一种操作真空处理系统的方法，所述真空处理系统具有主要传输路径，基板可沿着所述主要传输路径传输。方法包括：从主要传输路径输送出基板至第一沉积模块中以在基板上沉积第一材料；从主要传输路径输送出基板至第二沉积模块以在此基板上沉积第二材料；与从主要传输路径输送出基板至一个或多个沉积模块以在基板上沉积一种或多种材料。

根据本公开内容的一个方面，提出一种操作真空处理系统的方法，所述真空处理系统具有旋转模块。方法包括，在时间段期间，在第一方向上将第一轨道上的承载基板或掩模装置的第一载体移动至旋转模块中；与在此时间段期间，在与第一方向相反的第二方向上将第二轨道上的第二载体移动进入此旋转模块和移动离开此旋转模块。