[实用新型]可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及机械手技术领域，尤其涉及一种可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统。

背景技术

机械手是扩散炉或PECVD设备上用于传送舟的一套机械传动结构，通过机械手可以实现舟在上下及前后方向各个位置上的传输。如图1所示，其中传输前后方向上依次设置有：安装于立柱4上的暂存架5、中间的升降通道8、推舟机构6的SIC桨，暂存架5用来摆放已工艺或待工艺的舟7，SIC桨用于将已工艺/待工艺的舟7从石英管内取出/送入；升降通道8是机械手上升及下降的运行区域，传输的上下位置为每管的SIC桨及各个暂存架位置。机械手在暂存架5或SIC桨上取放舟7后，均需先退回升降通道8，上升或下降至需要的高度，再运行下一步动作。

如图1所示，理论上每管推舟机构6的SIC桨位置在同一垂直中心上。但是，如图2所示，由于设备的机架存在变形，且变形的程度根据设备的尺寸加大而增加，所以导致每一管推舟机构6的SIC桨位置存在些许差异，实际每管SIC桨位置的中心可能会在理论的垂直中心上存在偏差。从而机械手在每管推舟机构7的SIC桨上取舟7时所需运行的尺寸也不一致。而传统的机械手手臂运动时是以限位光电来定位，即A点启动B点停止，运行尺寸固定，无法控制每管的手臂及手爪运行尺寸，这使得当设备变形较大时现场调试十分困难。

因此，如何设计一种结构简单、可精确控制伸缩量、且便于调试的机械手是业界亟待解决的技术问题。

实用新型内容

为了解决现有技术中存在的上述缺陷，本实用新型提出一种可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统，该机械手的伸缩量可精确控制，有效弥补取拿位置不在同一垂直中心时的尺寸偏差。

本实用新型采用的技术方案是，设计一种可精确控制伸缩量的机械手，包括：连接手臂、活动连接在连接手臂上且沿其直线往复运动的活动手爪，连接手臂上安装有第一磁尺，第一磁尺的长度方向与活动手爪的运动方向相互平行，活动手爪上安装有第一磁性位移传感器，第一磁性位移传感器的检测端朝向第一磁尺。活动手爪在连接手臂上往复运动时，第一磁性位移传感器的检测端沿第一磁尺的长度方向移动。

连接手臂的底部设有第一滑轨，活动手爪的顶部固定有活动套在第一滑轨上的第一滑块，第一滑块连接有推动其运动的第一电动机构，第一磁尺安装在连接手臂的底部，第一磁性位移传感器安装在活动手爪的顶部。

优选的，连接手臂活动连接在一固定手臂上，且沿固定手臂直线往复运动，固定手臂上安装有第二磁尺，第二磁尺的长度方向与连接手臂的运动方向相互平行，连接手臂上安装有第二磁性位移传感器，第二磁性位移传感器的检测端朝向第二磁尺。连接手臂在固定手臂上往复运动时，第二磁性位移传感器的检测端沿第二磁尺的长度方向移动。

固定手臂的底部设有第二滑轨，连接手臂的顶部固定有活动套在第二滑轨上的第二滑块，第二滑块连接有推动其运动的第二电动机构，固定手臂上还固定有位于连接手臂外侧的安装板，第二磁尺安装在安装板的内壁上，第二磁性位移传感器安装在连接手臂的一端。

优选的，连接手臂的运动方向和活动手爪的运动方向相互平行。

本实用新型还提出了一种具有上述机械手的多管反应室上舟系统，包括：间隔设置的立柱和机架、由上至下排列在所述立柱上的暂存架、由上至下排列在机架上的推舟机构、设于推舟机构上的SIC桨、活动连接在立柱上且向机架水平伸出的机械手、推动机械手沿所述立柱升降运动的升降电动机构，机械手位于暂存架的一侧，机械手的活动手爪在SIC桨和暂存架之间水平伸缩运动。

优选的，SIC桨和暂存架之间还设有与立柱平行的升降通道，活动手爪在升降通道内升降运动。

优选的，多管反应室上舟系统还包括与机械手及升降电动机构连接的控制器，控制器调节所述机械手的高度位置，并通过磁性位移传感器控制活动手爪的水平伸缩距离。

与现有技术相比，本实用新型在机械手的活动手爪和连接手臂上分别安装第一磁性位移传感器和第一磁尺，活动手爪伸缩运动时，第一磁性位移传感器精确检测活动手爪的伸缩距离，进一步的，还可以在伸缩量不够时增加固定手臂，连接手臂和固定手臂上分别安装第二磁性位移传感器和第二磁尺，连接手臂伸缩运动时。第二磁性位移传感器精确检测连接手臂的伸缩距离。实际使用时，将磁性位移传感器连接在控制器上，设定机械手在不同高度的伸缩量，即可保证机械手准确运行到指定位置，控制精度高且便于调试。

附图说明

下面结合实施例和附图对本实用新型进行详细说明，其中：