[实用新型]n型晶体硅双面电池有效

专利信息
申请号: 201720599465.2 申请日: 2017-05-26
公开(公告)号: CN207489897U 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 毛卫平;蔡永梅;鲁伟明;李华 申请(专利权)人: 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司
主分类号: H01L31/068 分类号: H01L31/068;H01L31/0216;H01L31/0224
代理公司: 南京正联知识产权代理有限公司 32243 代理人: 文雯
地址: 225300 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 硅膜层 减反射层 晶体硅层 钝化 正面金属电极层 金属栅线电极 本实用新型 背面钝化 双面电池 掺杂层 衬底 背面设置 表面沉积 接触电阻 金属电极 局部设置 接触区 正表面 沉积 背面 穿透 掺杂 复合
【说明书】:

实用新型提供一种n型晶体硅双面电池,包括衬底、p+型晶体硅层、p++型硅膜层、正面钝化减反射层、正面金属电极层、n++型硅膜层、背面钝化减反射层和背面金属栅线电极,衬底采用n型晶体硅片,n型晶体硅片的正面设有掺杂形成的p+型晶体硅层,p+型晶体硅层上局部设置p++型硅膜层,p+型晶体硅层与p++型硅膜层的共同正表面沉积正面钝化减反射层,正面金属电极层穿透正面钝化减反射层并与p++型硅膜层接触,n型晶体硅片的背面设置n++型硅膜层,n++型硅膜层表面沉积背面钝化减反射层;本实用新型避免了金属电极直接接触p+型掺杂层造成的接触区复合;并降低了金属栅线电极与p+型掺杂层之间的接触电阻。

技术领域

本实用新型涉及一种n型晶体硅双面电池。

背景技术

随着光伏市场的发展,人们对高效晶体硅电池的需求越来越急迫。相对p型晶体硅电池而言,由于n型晶体硅对金属杂质不敏感,或者说具有很好的忍耐性能,故其少数载流子具有较大的扩散长度;此外,n型晶体硅采用磷掺杂,不存在因光照而导致B-O络合体的形成,因而不存在p型晶体硅电池中的光致衰退现象。因此,n型晶体硅电池逐渐成为众多研究机构和光伏企业关注的对象。

在所有n型晶体硅电池中,n-PERT双面电池(Passivated Emitter Rear Totally-diffused,即发射结钝化全背场扩散电池),如附图1所示,是器件结构和制备工艺与现有p型晶硅电池最接近的,最容易被大多数企业采用的技术路径。通常,n-PERT双面电池以n型单晶硅片为衬底,如图1中n型晶体硅层01,在其正、背面分别掺杂硼、磷原子,如图1中形成P+型晶体硅层02、n+型晶体硅层05,形成p+n发射极和nn+背电场,然后采用介质膜钝化正、背面分别形成钝化减反射膜层03、钝化介质膜层06,最后穿透介质膜形成正、背面接触电极,即图1中金属栅线电极04、金属背电极07。

目前,p型侧的丝网印刷金属化是一个尚未完全解决的技术难题。通常,为了降低Ag浆与p型层的接触电阻,需掺入一定量的Al,而Al的存在会造成p型发射极接触区复合电流增加。目前解决此问题的办法有三种:其一是采用较深的结深,同时保持相对较小的表面浓度,以防止钝化区复合电流升高;其二是采用选择性发射极,以屏蔽接触区复合;其三是采用电镀技术以降低接触区面积和复合。以上方法虽然在一定程度上可以缓解正面接触区的复合,但由于金属电极与p+型发射极表面仍然直接接触,金属离子很容易渗透到硼扩散区(p+型晶体硅层),破坏电极下面的p+n结,从而造成p+n结区的复合增加,电池开路电压和转换效率降低;另外,Ag浆料中引入Al会使浆料的体电阻率升高,并导致电池串联电阻增大,填充因子降低。

M.K. Stodolny等人在文献【N-Type Polysilicon Passivating Contacts forIndustrial Bifacial N-PERT Cells,EUPVSEC-2016】提出采用超薄氧化硅与n++型多晶硅薄膜钝化n-PERT电池背面,虽然降低背面金属化时造成的接触区复合,但其正面仍然采用丝网印刷电极直接接触p+型发射区,存在较大的接触区复合,电池的开路电压和转换效率难以明显提升。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种n型晶体硅双面电池,克服n-PERT电池中金属电极直接接触p+型发射极表面造成的接触区复合增加及开路电压降低的问题。

本实用新型的技术解决方案是:

一种n型晶体硅双面电池,包括衬底、p+型晶体硅层、p++型硅膜层、正面钝化减反射层、正面金属电极层、n++型硅膜层、背面钝化减反射层和背面金属栅线电极,衬底采用n型晶体硅片,n型晶体硅片的正面设有掺杂形成的p+型晶体硅层,p+型晶体硅层上局部设置p++型硅膜层,即p++型硅膜层仅设于正面金属电极层下方,p+型晶体硅层与p++型硅膜层的共同正表面沉积正面钝化减反射层,正面金属电极层穿透正面钝化减反射层并与p++型硅膜层接触,n型晶体硅片的背面设置n++型硅膜层,n++型硅膜层表面沉积背面钝化减反射层,背面金属电极层穿透背面钝化减反射层与n++型硅膜层接触。

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