[实用新型]n型晶体硅双面电池有效
申请号: | 201720599465.2 | 申请日: | 2017-05-26 |
公开(公告)号: | CN207489897U | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | 毛卫平;蔡永梅;鲁伟明;李华 | 申请(专利权)人: | 泰州隆基乐叶光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/068 | 分类号: | H01L31/068;H01L31/0216;H01L31/0224 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 文雯 |
地址: | 225300 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅膜层 减反射层 晶体硅层 钝化 正面金属电极层 金属栅线电极 本实用新型 背面钝化 双面电池 掺杂层 衬底 背面设置 表面沉积 接触电阻 金属电极 局部设置 接触区 正表面 沉积 背面 穿透 掺杂 复合 | ||
1.一种n型晶体硅双面电池,其特征在于:包括衬底、p+型晶体硅层、p++型硅膜层、正面钝化减反射层、正面金属电极层、n++型硅膜层、背面钝化减反射层和背面金属栅线电极,衬底采用n型晶体硅片,n型晶体硅片的正面设有掺杂形成的p+型晶体硅层,p+型晶体硅层上局部设置p++型硅膜层,即p++型硅膜层仅设于正面金属电极层下方,p+型晶体硅层与p++型硅膜层的共同正表面沉积正面钝化减反射层,正面金属电极层穿透正面钝化减反射层并与p++型硅膜层接触,n型晶体硅片的背面设置n++型硅膜层,n++型硅膜层表面沉积背面钝化减反射层,背面金属电极层穿透背面钝化减反射层与n++型硅膜层接触。
2.如权利要求1所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:n型晶体硅片采用n型单晶硅片或n型多晶硅片,n型晶体硅片的电阻率在0.3~10Ωcm、厚度在50~500um。
3.如权利要求1所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:p+型晶体硅层的厚度在0.2~2um,方块电阻在20~200Ω/□。
4.如权利要求3所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:n++型硅膜层采用磷掺杂的非晶硅、非晶氧化硅、微晶硅、微晶氧化硅或多晶硅,n++型硅膜层厚度在10nm~10um。
5.如权利要求4所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:n++型硅膜层与n型晶体硅层之间附带一层超薄氧化硅层,超薄氧化硅层的厚度在1~3nm。
6.如权利要求5所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:p++型硅膜层为硼掺杂的非晶硅、非晶氧化硅、微晶硅、微晶氧化硅或多晶硅,p++型硅膜层厚度在10nm~10um。
7.如权利要求6所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:p++型硅膜层与p+型晶体硅层之间附带一层超薄氧化硅层,其厚度在1~3nm。
8.如权利要求7所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:正面钝化减反射层至少包含a-SiNx、a-SiOx、a-SiCx、a-SiCxNy、a-SiNxOy、a-AlOx中的任意一种或多种的组合,正面钝化减反射层厚度在60~150nm。
9.如权利要求1-8任一项所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:背面钝化减反射层至少包含a-SiNx、a-SiOx、a-SiCx、a-SiCxNy、a-SiNxOy、a-AlOx中的任意一种或多种的组合,背面钝化减反射层厚度在60~150nm。
10.如权利要求1-8任一项所述的n型晶体硅双面电池,其特征在于:正面金属电极层为Ag、Ni/Ag、Ni/Cu、Ni/Cu/Sn或Ni/Cu/Ag电极中的任意一种,背面金属栅线电极为Ag、Ni/Ag、Ni/Cu、Ni/Cu/Sn或Ni/Cu/Ag电极中的任意一种。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的