[发明专利]半导体结构的布局、半导体装置及其形成方法

权利要求书

1.一种半导体结构的布局，其特征在于，该半导体结构的布局包含：

多个图案沿着一个第一方向排列并排成多列，各该图案之间彼此间隔，该多个图案在所述第一方向上彼此对齐排列，且该多列的该些图案排列成一个区域，该区域包含：

一个第一侧边，朝向该第一方向延伸；以及

一个第二侧边，朝向不同于该第一方向的一个第二方向延伸，并具有一锯齿状，其中，该第二侧边包含多个片段，各该片段包含两个或两个以上的该图案。

2.依据权利要求1所述的半导体结构的布局，其特征在于，相邻的两该片段分别朝向不同于该第一方向与该第二方向的两方向延伸，且该两方向彼此相交而不垂直。

3.依据权利要求1所述的半导体结构的布局，其特征在于，排列于奇数列的该些图案在该第二方向上相互对位排列。

4.依据权利要求1所述的半导体结构的布局，其特征在于，排列于偶数列的该些图案在该第二方向上相互对位排列。

5.依据权利要求1所述的半导体结构的布局，其特征在于，任两相邻列的该些图案在该第二方向上彼此错位排列。

6.依据权利要求1所述的半导体结构的布局，其特征在于，该区域还包含一个第三侧边，朝向该第二方向延伸，该第三侧边相对于该第二侧边且具有锯齿状。

7.依据权利要求6所述的半导体结构的布局，其特征在于，该第三侧边与该第二侧边不相互对称。

8.依据权利要求6所述的半导体结构的布局，其特征在于，该第三侧边与该第二侧边相互对称。

9.一种半导体装置，其特征在于，该半导体装置包含：

一个基底，包含一个第一区域以及一个第二区域；以及

一个材料层，设置在该基底上，该材料层包含多个图案，且各该图案间彼此间隔，其中，该些图案在该第一区域内排列成至少二个锯齿状侧边，且各该锯齿状侧边包含多个片段，各该片段包含两个或两个以上的该图案。

10.依据权利要求9所述的半导体装置，其特征在于，该至少二个锯齿状侧边彼此对称。

11.依据权利要求9所述的半导体装置，其特征在于，该至少二个锯齿状侧边彼此不对称。

12.依据权利要求9所述的半导体装置，其特征在于，各该锯齿状侧边包含多个锯齿部，且各该锯齿部由任两相邻的该片段构成。

13.依据权利要求12所述的半导体装置，其特征在于，该两相邻的片段分别朝向不同的两方向延伸，且该两方向彼此相交而不相互垂直。

14.依据权利要求9所述的半导体装置，其特征在于，各该图案沿着一个第一方向排列并排成多列，其中，排列于奇数列的该些图案在不同于该第一方向的一个第二方向上相互对位。

15.依据权利要求14所述的半导体装置，其特征在于，排列于偶数列的该些图案在该第二方向上相互对位。

16.依据权利要求14所述的半导体装置，其特征在于，任两相邻列的该些图案在该第二方向上交错排列。

17.依据权利要求9所述的半导体装置，其特征在于，还包含：

多个位线设置在该基底上，位于该第一区域内，该些位线位于该材料层下；以及

多个插塞，设置在该基底上，位于该第一区域内，该些插塞与该些位线交替排列，且该些图案分别位于该些插塞上。