[发明专利]一种金属连线恒温电迁移测试结构

权利要求书

1.一种金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，包括：下层金属测试线、金属通孔、下层金属连线、上层金属连线、测试金属垫、散热结构，其中所述下层金属测试线的两端连接于下层金属连线，所述下层金属连线分别通过金属通孔连接于所述上层金属连线，两条所述上层金属连线分别连接至测试金属垫，所述散热结构仅设置于所述下层金属连线和上层金属连线周围，所述下层金属测试线的两端分别通过一个直角结构过渡连接至所述下层金属连线，每个所述散热结构包括经由金属通孔依次连接至硅衬底的多层金属层，所述下层金属测试线与所述下层金属连线位于同一层。

2.根据权利要求1所述的金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，所述下层金属连线分别通过一个或多个金属通孔连接于所述上层金属连线。

3.根据权利要求1所述的金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，每个所述测试金属垫包括经由金属通孔依次连接的多层金属层。

4.根据权利要求1所述的金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，所述下层金属测试线的宽度遵循最小尺寸设计规则。

5.根据权利要求1所述的金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，所述上层金属连线的宽度不违反最小和最大尺寸设计规则。

6.根据权利要求1所述的金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，所述金属通孔的宽度和长度遵循最小尺寸设计规则。

7.根据权利要求1所述的金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，多个所述金属通孔之间的距离不违反最小尺寸设计规则。

8.根据权利要求1所述的金属连线恒温电迁移测试结构，其特征在于，所述散热结构的多层金属层之间以及与金属连线之间的距离遵循最小尺寸设计规则。