[发明专利]检测漏(源)端有源区影响器件性能的单元结构及实现方法

权利要求书

1.一种研究漏(源)端有源区影响器件性能的单元(PCELL)结构，包括Drain端到POLY的距离LD（如图1），Source端到POLY的距离LS（如图1），连接有源区到衬底的Contact，其特征在于，漏源有源区可互换，形成不同器件结构。

2.如权利要求1所述的Drain端到POLY的距离LD（如图1），其特征在于，所述距离LD长度可任意变换。

3.如权利要求1所述的Source端到POLY的距离LS（如图1），其特征在于，所述距离LS长度可任意变换。

4.如权利要求1所述的Contact，其特征在于，该Contact所处位置有三种形式（如图2、图3所示）。

5.如权利要求2、3所述的Drain/Source端，其特征在于，所属Drain/Source端互换形成新的器件结构具有不同的性能。

6.如权利要求2、3Drain端到POLY的距离LD，Source端到POLY的距离LS，LD与LS可呈一定倍数关系设置（LD=n*LS），不同的n值产生不同性能的器件结构。