[发明专利]一种检验基板的处理方法及处理装置

说明书

本发明提供一种检验基板的处理方法及处理装置。处理方法包括：在检验基板上设置牺牲膜层；利用等离子体增强化学气相沉积法在所述牺牲膜层上形成检验膜层；在对所述检验膜层的形成状况进行检验后，从所述检验基板上去除所述牺牲膜层，从而使得所述检验膜层与所述检验基板分离；回收所述检验基板。本发明的方案先在检验基板上沉积出易于与检验基板分离的牺牲膜层，之后再使用离子体增强化学气相沉积法制作出用于检验化学气象沉积工艺的检验膜层，在验证完成后，只需要将牺牲膜层与检验基板分离，即可重新回收干净的检验基板，使得检验基板可以在下次检验中继续使用，从而节约了制作成本，因此具有很高的实用价值。

技术领域

本发明涉及显示产品的制作领域，特别是指一种检验基板的处理方法及处理装置。

背景技术

现有的显示基板制作工艺一般采用化学气相沉积法在衬底基板上制作非金属绝缘薄膜。在化学气相沉积设备进行大批量产品制作前，需要按照产品的化学气象沉积条件，在检验基板上进行试制作，以评估设备内气体状况、机械动作、工艺参数等有无异常，确保量产时产品的稳定性。

目前，化学气相沉积使用的是射频电源，所以金属及其他材质会导致Arcing(异常放电现象)，Arcing影响电源及腔室内的洁净度，故目前的检验基板以及产品基板的材质只可以选择玻璃。

在检验阶段完成后，沉积有非金属绝缘薄膜的玻璃基板，无法在下次检验中使用，造成了不可回收利用的问题。

发明内容

本发明的目的是解决玻璃基板在进行化学气象沉积测试后不可回收的问题。

为实现上述目的，一方面，本发明的实施例提供一种检验基板的处理方法，包括：

在检验基板上设置牺牲膜层；

利用等离子体增强化学气相沉积法在所述牺牲膜层上形成检验膜层；

在对所述检验膜层的形成状况进行检验后，从所述检验基板上去除所述牺牲膜层，从而使得所述检验膜层与所述检验基板分离；

回收所述检验基板。

其中，所述牺牲膜层为非金属材料且能够被刻蚀液刻蚀；

从检验基板上去除所述牺牲膜层，包括：

采用所述牺牲膜层的刻蚀液，刻蚀掉所述牺牲膜层。

其中，在检验基板上设置牺牲膜层，包括：

将牺牲膜层贴合在所述检验基板上；

从检验基板上去除所述牺牲膜层，包括：

采用机械分离方式，将所述牺牲膜层与所述检验基板进行分离。

其中，将牺牲膜层贴合在所述检验基板上，包括：

将牺牲膜层的第一表面与所述检验基板的第二表面分别进行氨基化处理，使所述第一表面和所述第二表面附着氨基；

将所述牺牲膜层的第一表面与所述检验基板的第二表面贴合。

其中，在检验基板上设置牺牲膜层之前，所述方法还包括：

对所述检验基板进行清洗。其中，从所述检验基板上去除所述牺牲膜层之后，回收所述检验基板之前，所述方法还包括：

对所述检验基板进行等离子体照射，以去除所述检验基板上的残留物。

另一方面，本发明的实施例还提供一种检验基板的处理设备，包括：

设置模块，用于在检验基板上设置牺牲膜层；

沉积模块，用于利用等离子体增强化学气相沉积法在所述牺牲膜层上形成检验膜层；