[发明专利]彩膜层成膜装置和彩膜层成膜方法有效
| 申请号： | 201510115209.7 | 申请日： | 2015-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN104651797B | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 沈武林;林俊仪;方金钢 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于显示技术领域，具体涉及一种彩膜层成膜装置和成膜方法。该彩膜层成膜装置，包括用于对加工膜旋转成型的旋转单元和控制单元，还包括与所述控制单元电连接的色度监测单元，所述色度监测单元用于对所述加工膜的色度进行检测，以及比较所述加工膜的色度与预设色度的差值，进而利用该差值，通过所述控制单元调节所述旋转单元的速度来控制所述加工膜的厚度。该彩膜层成膜装置和彩膜层成膜方法，可以实时监控有色加工膜的色度，从而得到设定的加工膜厚度，从而有效提高有色膜成膜的生产效率，降低有色膜材料的损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种彩膜层成膜装置，包括用于对加工膜旋转成型的旋转单元和控制单元，其特征在于，还包括与所述控制单元电连接的色度监测单元，所述色度监测单元用于对所述加工膜的色度进行检测，以及比较所述加工膜的色度与预设色度的差值，进而利用该差值，通过所述控制单元调节所述旋转单元的速度来控制所述加工膜的厚度；其中，所述旋转单元包括旋转基台，所述旋转基台具有用于承载所述加工膜的承载区；所述色度监测单元包括光源、色度采集模块、色度分析模块和色度比较模块，其中：所述光源和所述色度采集模块，与所述承载区相对设置，所述光源用于向所述承载区提供光照，所述色度采集模块用于采集所述加工膜经光照产生的光谱图；所述色度分析模块，与所述色度采集模块和所述色度比较模块分别电连接，用于接收和分析光谱图，并将对光谱图分析得到的色度数据传送至所述色度比较模块；所述色度比较模块，预设色度参考值，用于将分析得到的色度数据与预设色度参考值进行比较，并将比较结果传送至所述控制单元；所述控制单元，用于根据比较结果调节所述旋转基台的速度。
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- 裴龙 - 武汉华星光电技术有限公司
- 2017-03-21 - 2019-05-21 - C23C14/54
- 本发明涉及一种有机发光二极管蒸镀膜补偿的方法，涉及真空蒸镀技术领域，解决了现有技术中存在的生产过程中可操作性差、需要进行多次参数的更改和生产效率低的技术问题。本发明的方法是通过在晶振片不同的寿命周期蒸镀时，采用不用的Z值，以及相应的调整修正值之后在进行下一个寿命周期的蒸镀，能够使生产过程中需要更改的参数大大减少，并且实际膜厚与晶体管的频率之间的变化趋势趋于线性，使产品的品质更可靠，能够提高产品的合格率和生产效率。
- 一种等离子体物理面控制系统-201510678415.9
- 沈江民 - 河南卓金光电科技股份有限公司
- 2015-10-20 - 2019-05-14 - C23C14/54
- 本发明公开了一种等离子体物理面控制系统，包括一组Y轴伺服驱动系统、两组X轴伺服驱动系统、两组型号相同的鱼鳞屏蔽；所述鱼鳞屏蔽安装于孪生靶前的两侧基本挡板上；所述鱼鳞屏蔽包括相互链接的十四片单面鳞片及基本挡板；所述单面鳞片安装于孪生靶前的两侧基本挡板上；所述Y轴伺服驱动系统包括Y轴伺服电机、Y轴滑杠及Y轴螺旋机构；所述X轴伺服驱动系统包括X轴伺服电机、X轴鳞片推动杆、X轴一字齿条和X轴传动杆。本发明的等离子体物理面控制系统，在真空状态下直接由电脑设置，伺服驱动传动输入，蛇形链接的不锈钢片按设置坐标点产生位移来调控等离子体物理面，从而达到溅射镀膜膜层均匀的目的。
- 监控薄膜沉积-201480054124.6
- M·B·林赞 - 英飞康公司
- 2014-10-03 - 2019-05-10 - C23C14/54
- 描述了一种用于监控薄膜沉积的系统。该系统包括石英晶体和用以产生调制信号的合成器。调制信号将通过石英晶体接地。该系统还包括相位检测器，用以确定来自石英晶体的调制信号的相位，从而监控薄膜沉积。调制指数可以被选择，使得在共振时，信号的高频匹配晶体频率。
- 专利分类
