[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710082086.0 申请日: 2017-02-15
公开(公告)号: CN106842817A 公开(公告)日: 2017-06-13
发明(设计)人: 胡少坚;戚继鸣;陈寿面 申请(专利权)人: 上海集成电路研发中心有限公司
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027;C25D9/02
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 王仙子
地址: 201210 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 光刻 组合 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种光刻胶组合物,其特征在于,包括以下组份:

具有聚合活性和光学活性的碱溶性树脂;

至少含有两个不饱和双键且具有光学活性的低聚物或单体;

光敏剂;

非离子型或阳离子型表面活性剂;

热阻聚剂;

助剂;

溶剂。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述光刻胶组合物中各组份按质量百分比计配比如下:

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述碱溶性树脂的分子量为1000-100000。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述碱溶性树脂选自丙烯酸、丙烯酸酯改性的氨基环氧树脂、聚氨酯丙烯酸酯树脂、甲基丙烯酸二甲氨基乙酯改性丙烯酸酯、聚醚氨基丙烯酸酯树脂、丙烯酸酯酚醛树脂和聚酰亚胺树脂中的一种或多种组合。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述低聚物或单体的分子量为100-2000。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述低聚物或单体选自二丙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、双季戊四醇六丙烯酸酯、异戊四醇四丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸苄酯、环氧丙烯酸酯、脂肪族聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯和有机硅改性丙烯酸酯树脂中的一种或多种组合。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述助剂选自偶联剂、抗氧化剂、紫外吸收剂、消泡剂和增塑剂中的一种或多种组合。

8.据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述溶剂选自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇甲醚、乙酸乙二醇乙醚和乳酸乙酯中的一种或多种混合。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的光刻胶组合物的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

S1:将所述碱溶性树脂与所述溶剂混合,得到的一次反应体系;

S2:利用有机酸调整所述一次反应体系的pH值,得到二次反应体系;

S3:向所述二次反应体系中加入所述光敏剂、所述低聚物或单体、所述表面活性剂、所述热阻聚剂和所述助剂,得到三次反应体系;

S4:将所述三次反应体系进行过滤处理,得到光刻胶组合物。

10.一种导电基材的表面薄膜形成方法,其特征在于,包括:利用电镀沉积的方法将如权利要求1-8任一项所述的光刻胶组合物均匀沉积在所述导电基材的表面。

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