[发明专利]一种光刻胶组合物及其制备方法在审
申请号: | 201710082086.0 | 申请日: | 2017-02-15 |
公开(公告)号: | CN106842817A | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 胡少坚;戚继鸣;陈寿面 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;C25D9/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 王仙子 |
地址: | 201210 上海市浦东*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
1.一种光刻胶组合物,其特征在于,包括以下组份:
具有聚合活性和光学活性的碱溶性树脂;
至少含有两个不饱和双键且具有光学活性的低聚物或单体;
光敏剂;
非离子型或阳离子型表面活性剂;
热阻聚剂;
助剂;
溶剂。
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述光刻胶组合物中各组份按质量百分比计配比如下:
3.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述碱溶性树脂的分子量为1000-100000。
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述碱溶性树脂选自丙烯酸、丙烯酸酯改性的氨基环氧树脂、聚氨酯丙烯酸酯树脂、甲基丙烯酸二甲氨基乙酯改性丙烯酸酯、聚醚氨基丙烯酸酯树脂、丙烯酸酯酚醛树脂和聚酰亚胺树脂中的一种或多种组合。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述低聚物或单体的分子量为100-2000。
6.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述低聚物或单体选自二丙二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、双季戊四醇六丙烯酸酯、异戊四醇四丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸苄酯、环氧丙烯酸酯、脂肪族聚氨酯丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、聚醚丙烯酸酯和有机硅改性丙烯酸酯树脂中的一种或多种组合。
7.根据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述助剂选自偶联剂、抗氧化剂、紫外吸收剂、消泡剂和增塑剂中的一种或多种组合。
8.据权利要求1所述的一种光刻胶组合物,其特征在于,所述溶剂选自丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇二乙酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、丙二醇甲醚、乙酸乙二醇乙醚和乳酸乙酯中的一种或多种混合。
9.一种如权利要求1-8任一项所述的光刻胶组合物的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1:将所述碱溶性树脂与所述溶剂混合,得到的一次反应体系;
S2:利用有机酸调整所述一次反应体系的pH值,得到二次反应体系;
S3:向所述二次反应体系中加入所述光敏剂、所述低聚物或单体、所述表面活性剂、所述热阻聚剂和所述助剂,得到三次反应体系;
S4:将所述三次反应体系进行过滤处理,得到光刻胶组合物。
10.一种导电基材的表面薄膜形成方法,其特征在于,包括:利用电镀沉积的方法将如权利要求1-8任一项所述的光刻胶组合物均匀沉积在所述导电基材的表面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海集成电路研发中心有限公司,未经上海集成电路研发中心有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710082086.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。