[发明专利]显示基板及其制备方法、显示装置有效
申请号: | 201710024600.5 | 申请日: | 2017-01-13 |
公开(公告)号: | CN106783889B | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 张俊;史高飞;周如;占建英 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/84;H01L21/027;G02F1/1362 |
代理公司: | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人: | 汪源;陈源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 及其 制备 方法 显示装置 | ||
本发明公开了一种显示基板及其制备方法、显示装置,所述显示基板包括显示区域和周边区域,周边区域设置有第一电极线,第一电极线上设置有绝缘层,绝缘层上对应第一电极线所在的位置设置有第一过孔,第一过孔中设置有接触电极,绝缘层上设置有第二电极线,第二电极线通过接触电极与第一电极线电连接。本发明提供的技术方案在第一电极线与第二电极线之间设置接触电极,在对第二电极线进行刻蚀去除时接触电极可以对第一电极线进行保护,使得刻蚀液不会对第一电极线进行破坏。因此,本发明提供的技术方案在不影响第一电极线与第二电极线进行搭接的前提之下,避免对第二电极线进行刻蚀去除时损伤第一电极线,从而节约了生产成本,提高了生产效率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示基板及其制备方法、显示装置。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)具有体积小、功耗低、无辐射、制造成本低等特点,在当前的平板显示器市场占据了主导地位。随着产品PPI的提高和边框的减小,现有技术在显示器的周边区域通常使用绝缘层接触孔来实现不同金属层中信号线的搭接。然而,由于两层信号线的材料相同或相近,且直接搭接,导致在后续工艺需要对其中一层金属层刻蚀去除时,刻蚀液会侵蚀另一金属层,从而对该金属层造成损伤,甚者使得该金属被完全剥离。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供一种显示基板及其制备方法、显示装置,至少部分解决现有显示基板的周边区域,由于不同金属层中信号线的材料相同或相近,且直接搭接,导致其中一层金属层难以剥离的问题。
为此,本发明提供一种显示基板,包括显示区域和周边区域,所述周边区域设置有第一电极线,所述第一电极线上设置有绝缘层,所述绝缘层上对应所述第一电极线所在的位置设置有第一过孔,所述第一过孔中设置有接触电极,所述绝缘层上设置有第二电极线,所述第二电极线通过所述接触电极与所述第一电极线电连接。
可选的,所述接触电极在所述显示基板上的正投影至少覆盖所述第一过孔的底部在所述衬底基板上的正投影。
可选的,所述接触电极的材料包括金属氧化物。
可选的,所述第二电极线上设置有钝化层,所述钝化层上设置有第二过孔,所述钝化层上设置有公共电极,所述公共电极通过所述第二过孔与所述第二电极线连接。
本发明还提供一种显示装置,包括任一所述的显示基板。
本发明还提供一种显示基板的制备方法,包括:
在衬底基板上沉积第一金属层;
通过一次构图工艺在显示区域形成栅极以及在周边区域形成第一电极线;
沉积绝缘层;
通过构图工艺在所述周边区域的绝缘层上对应所述第一电极线所在的位置形成第一过孔;
沉积导电材料层;
通过一次构图工艺在所述显示区域形成像素电极以及在所述周边区域的第一过孔中形成接触电极;
沉积第二金属层;
通过一次构图工艺在所述显示区域形成源漏极以及在所述周边区域的绝缘层上形成第二电极线,所述第二电极线通过所述接触电极与所述第一电极线电连接。
可选的,所述接触电极的材料包括金属氧化物。
可选的,所述通过构图工艺在所述周边区域的绝缘层上对应所述第一电极线所在的位置形成第一过孔的步骤之前包括:
通过构图工艺在所述显示区域形成半导体层。
可选的,还包括:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的