[发明专利]研磨用组合物

权利要求书

1.一种研磨用组合物，其包含：

磨粒、

选自具有下述式(1)所表示的1，2-二醇结构单元的乙烯醇系树脂中的至少一种水溶性高分子、

多元醇、

碱化合物、以及

非离子性表面活性剂，

所述多元醇包含聚氧亚乙基甲基葡糖苷和聚氧亚丙基甲基葡糖苷，

所述水溶性高分子的含量以相对于磨粒1重量份的比例计，为0.001重量份～0.1重量份，

所述碱化合物的含量以相对于磨粒1重量份的比例计，为0.0001重量份～0.1重量份，

所述多元醇的含量以相对于磨粒1重量份的比例计，为0.00001重量份～0.03重量份，

式中，R¹、R²和R³分别独立地表示氢原子或有机基团，X表示单键或键链，R⁴、R⁵和R⁶分别独立地表示氢原子或有机基团，R⁷和R⁸分别独立地表示氢原子，

所述非离子性表面活性剂是下述通式(2)所表示的二胺化合物，该二胺化合物包含具有2个氮的亚烷基二胺结构，且在该亚烷基二胺结构的2个氮上键合有至少1个嵌段型聚醚，并且该嵌段型聚醚是氧亚乙基与氧亚丙基键合而成，

式中，n表示1以上的整数。

2.根据权利要求1所述的研磨用组合物，其中，

所述多元醇的含量以相对于研磨组合物整体的重量％计，为0.0001重量％～0.3重量％。