[实用新型]一种硅片表面氧化的装置

权利要求书

1.一种硅片表面氧化的装置，包括甩干机箱体（1）、密封盖（4）、臭氧发生器箱体（10）、电动机（15）和内桶（18），其特征在于：所述甩干机箱体（1）顶部安装有密封盖（4），且密封盖（4）内部设置有喷淋装置（5），所述喷淋装置（5）的左边固定有进水管（2），且进气管（6）安装在喷淋装置（5）的右边，所述进气管（6）与臭氧发生器箱体（10）连接，所述甩干机箱体（1）内部设置有内桶（18），且内桶（18）四周固定有硅片承载装置（17），所述内桶（18）底部与电动机（15）连接，且出水管（16）固定在电动机（15）右边，所述甩干机箱体（1）正表面设置有控制面板（21），且控制面板（21）上方固定有第一电源按钮（20），所述第一电源按钮（20）左边设置有指示灯（19），所述臭氧发生器箱体（10）上方，设置有第一电流表（7），且第一电流表（7）右边设置有报警器（8），所述报警器（8）右边安装有第二电流表（9），且第二电流表（9）下方设置有第二电源按钮（12），所述第二电源按钮（12）左边设置有第二工作按钮（11），所述第二工作按钮（11）左边安装有第一工作按钮（13），所述臭氧发生器箱体（10）下方安装有箱门（14）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片表面氧化的装置，其特征在于：所述喷淋装置（5）底部设置有喷淋孔（22）。

3.根据权利要求1所述的一种硅片表面氧化的装置，其特征在于：所述进水管（2）、进气管（6）和出水管（16）上均安装有电磁阀（3）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片表面氧化的装置，其特征在于：所述内桶（18）上设置有脱水孔。

5.根据权利要求1所述的一种硅片表面氧化的装置，其特征在于：所述甩干机箱体（1）和臭氧发生器箱体（10）底部均安装有支撑腿。