[实用新型]一种连续型硅片或电池片检测分类装置有效
申请号: | 201620659997.6 | 申请日: | 2016-06-28 |
公开(公告)号: | CN206194697U | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
发明(设计)人: | 张弛;王志刚;孙小俊;王四海 | 申请(专利权)人: | 南京卓胜自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683;H01L21/687 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204 | 代理人: | 肖明芳 |
地址: | 210000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 连续 硅片 电池 检测 分类 装置 | ||
1.一种连续型硅片或电池片检测分类装置,包括上料机架(1)、检测机架(2)及下料机架(3),其特征在于,所述上料机架(1)内设有放料盒(4)、顶升装置、伸缩输送机(6)及上料输送机(7),所述放料盒(4)下方设置相对应的放料盒顶升装置(5),一个放料盒顶升装置(5)控制一个放料盒(4),所述放料盒(4)内放置待检测硅片或电池片;所述检测机架(2)内设置检测设备(8)、检测输送机(9)及PLC控制器;下料机架(3)内设置若干收集盒(10)、下料输送机(11)及进料输送机(12),收集盒(10)下方设置相对应的收集盒顶升装置(13),一个收集盒顶升装置(13)控制一个收集盒(10),所述收集盒(10)内放置检测分类的硅片或电池片;
所述上料输送机(7)为皮带输送机,所述放料盒(4)设置在上料输送机(7)的下方,通过伸缩输送机(6)将放料盒(4)内的待检测硅片或电池片送至上料输送机(7)的皮带下方,上料输送机(7)下表面的皮带与皮带之间的间隙处设置吸气模块,所述上料输送机(7)与检测输送机(9)处于上下两个不同的平面,所述上料输送机(7)与检测输送机(9)的空间位置有重叠的部分;
所述下料输送机(11)与检测输送机(9)处于上下两个不同的平面,所述下料输送机(11)与检测输送机(9)的空间位置有重叠的部分,所述下料输送机(11)也为皮带输送机,下料输送机(11)下表面的皮带与皮带之间的间隙处设置吸气模块,所述收集盒(10)设置在下料输送机(11)的下方,根据PLC控制器给出的检测结果,通过进料输送机(12)将下料输送机(11)上的检测完毕的硅片或电池片送至相应的收集盒(10)。
2.根据权利要求1所述的一种连续型硅片或电池片检测分类装置,其特征在于,所述检测设备(8)为尺寸检测模块、外观检测模块、电性能检测模块、平整度检测模块中的任意检测模块组合。
3.根据权利要求1所述的一种连续型硅片或电池片检测分类装置,其特征在于,N个所述放料盒(4)分为两组进行作业,一组放料盒(4)内的待检测硅片或电池片被伸缩输送机(6)取尽则另一组放料盒(4)上方的伸缩输送机(6)工作。
4.根据权利要求1所述的一种连续型硅片或电池片检测分类装置,其特征在于,所述放料盒(4)的个数大于2。
5.根据权利要求1所述的一种连续型硅片或电池片检测分类装置,其特征在于,所述上料输送机(7)一直持续运转。
6.根据权利要求1所述的一种连续型硅片或电池片检测分类装置,其特征在于,所述下料输送机(11)一直持续运转。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造