[发明专利]一种制备SnSe晶体的方法在审
申请号: | 201611226276.7 | 申请日: | 2016-12-27 |
公开(公告)号: | CN108239787A | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 金敏;蒋俊;胡皓阳;邵和助;徐静涛;江浩川 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C30B29/46 | 分类号: | C30B29/46;C30B11/00 |
代理公司: | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人: | 张莹 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 斜体 晶体的 生长炉 制备 生长 高完整性 晶体生长 炉体轴向 温度梯度 有效减少 夹角为 多晶 申请 | ||
1.一种制备SnSe晶体的方法,其特征在于,将含有SnSe多晶的原料置于斜体生长炉中的容器中生长得到;
所述斜体生长炉的炉体轴向与水平方向的夹角为15~30°。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述斜体生长炉包括高温区、中温区和低温区;
其中,高温区温度为900~950℃,中温区温度为860~900℃,低温区温度为800~860℃。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述容器的放肩角度60~120°。
4.根据权利要求1或3所述的方法,其特征在于,所述容器为直径2~4英寸的石英坩埚。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述容器中装有SnSe籽晶,籽晶取向为<100>、<110>、<111>。
6.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,至少包括以下步骤:
a)将含有SnSe多晶的原料装入坩埚中抽真空后密封;坩埚放肩角度60~120°,装有取向为<100>、<110>、<111>的籽晶;
b)将密封后的坩埚置于斜体生长炉中,控制斜体反应炉中高温区温度为900~950℃,中温区温度为860~900℃,低温区温度为800~860℃进行晶体生长;斜体生长炉的炉体轴向与水平方向的夹角为15~30°;
c)待原料中的SnSe多晶全部融化并与籽晶完成接种后,以15~20℃/h速度缓慢降至室温,即得所述SnSe晶体。
7.根据权利要求2或6所述的方法,其特征在于,中温区的晶体生长的温度梯度大小为3~5℃/cm,生长速度为0.5~2mm/h。
8.一种晶体生长炉,包括炉体、用于支撑所述炉体的炉体支架、由程序控制的加热元件以及位于所述炉体内的炉膛;所述炉体轴向与水平方向的夹角为15~30°。
9.根据权利要求8所述的晶体生长炉,其特征在于,所述炉膛分三个温度区域:位于上部的高温区、位于中部的中温区、位于下部的低温区。
10.根据权利要求9所述的晶体生长炉,其特征在于,所述加热元件由电阻丝缠绕形成,分为七段;其中,第1至3段对应高温区,第4和5段对应中温区,第6和7段对应低温区。
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