[发明专利]一种高频电磁感应热压烧结及钎焊装置

权利要求书

1.一种高频电磁感应热压烧结及钎焊装置，其特征在于：包括高频感应电源、感应器、感应加热炉体、驱动机构、双加压机构、抽真空机构、惰性气体保护机构、用以放置试样的石墨模具组件以及非接触式红外测温机构；所述驱动机构上设置有一双加压机构，所述感应加热炉体与所述双加压机构、所述抽真空机构以及所述惰性气体保护机构相连，所述石墨模具组件放置于所述双加压机构上进行移动；所述感应器设置于所述感应器加热炉体的炉体内部，且所述感应器还与所述高频感应电源相连；所述非接触式红外测温机构包括一光纤红外测温传感器，所述光纤红外测温传感器设置于所述感应加热炉体前方，用以对炉体进行非接触式红外测温；所述双加压机构由上部分的机械加压装置与下部分的液压加压装置组成，包括经驱动机构驱动的用于独立进行竖向往复运动调节的上移动板和液压泵顶杆，所述上移动板下方设有用于插嵌入炉体上方的圆柱形的上压头，所述液压泵顶杆上方设有用于插嵌入炉体下方的圆柱形的下压头，所述上压头与下压头分别经螺栓进行固定；所述双加压机构中的上压头采用涡轮蜗杆的减速器连接滚珠丝杠的方式进行竖向往复运动，用以调节速度和幅度并施压小压力；所述双加压机构中的下压头采用液压泵顶杆连接下压头的方式进行竖向往复运动，用以施压大压力。

2.根据权利要求1所述的一种高频电磁感应热压烧结及钎焊装置，其特征在于：所述感应加热炉体为夹层水冷结构，所述感应加热炉体的一侧壁设有一冷却水进口与一冷却水出口；所述冷却水进口与所述冷却水出口与一对所述感应加热炉体与所述感应器进行循环水冷却的冷水机相连。

3.根据权利要求1所述的高频电磁感应热压烧结与钎焊装置，其特征在于：所述感应加热炉体的后方开设有一感应器接入口，所述感应器通过所述感应器接入口设置于所述感应器加热炉体的中心部分；所述感应器接入口与所述感应加热炉体的间隙部分由密封圈和耐高温密封胶进行密封。

4.根据权利要求1所述的高频电磁感应热压烧结与钎焊装置，其特征在于：所述感应加热炉体的前方开设有一炉门，所述炉门上设置有一用以红外测温的观察窗，所述观察窗由耐高温石英玻璃制成。

5.根据权利要求1所述的高频电磁感应热压烧结与钎焊装置，其特征在于：所述驱动机构包括一上固定板与一下固定板，所述上固定板上设置有相连接的电机、减速器、联轴器以及丝杆，所述丝杆上设有滚珠螺母，所述滚珠螺母与上移动板固连，所述下固定板上设置有一液压泵，所述液压泵与下压头相连；所述上固定板与所述下固定板之间还竖直设置有一导杆。

6.根据权利要求1所述的高频电磁感应热压烧结与钎焊装置，其特征在于：所述抽真空机构包括一用以抽取空气的真空泵，所述惰性气体保护机构包括一用以注入惰性气体的惰性气体增压泵；所述感应加热炉体的另一侧壁设置有一与所述真空泵连接的真空泵连接阀以及一与所述惰性气体增压泵相连的惰性气体增压泵连接阀。

7.根据权利要求1所述的高频电磁感应热压烧结与钎焊装置，其特征在于：所述上压头与所述下压头的外部材料为不锈钢，嵌入所述上压头与所述下压头的内部材料为石墨压头，所述上压头与所述下压头的插嵌入炉体的位置有环形密封橡胶垫，用以防止在加压路径上保护气体泄漏。