[发明专利]压印用光固化性组合物,固化膜的制备方法,光学组件、电路板和电子组件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201580069607.8 申请日: 2015-12-15
公开(公告)号: CN107112209B 公开(公告)日: 2020-05-01
发明(设计)人: 岩下和美;伊藤俊树;饭村晶子;加藤顺;山下敬司 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L21/027 分类号: H01L21/027;B29C59/02;C08F2/50
代理公司: 北京魏启学律师事务所 11398 代理人: 魏启学
地址: 日本东京都大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 压印 用光 固化 组合 制备 方法 光学 组件 电路板 电子 制造
【权利要求书】:

1.一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物,其特征在于,所述组合物至少包括:

聚合性化合物组分(A),和

光聚合引发剂组分(B),并且

所述组合物满足要求(1):

ECG值大于或等于2.30GPa,

其中,ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在包含浓度为90体积%以上的冷凝性气体的氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量,所述折合模量的单位为GPa,所述折合模量是在所述压印用光固化性组合物曝光24小时之后通过Oliver-Pharr方法采用纳米刻痕机作为在200nm刻痕深度下的折合模量来确定的;

其中,不包括以下组成的组分(A):

在总计100重量份中,

丙烯酸苄酯:50重量份,和间苯二亚甲基二丙烯酸酯:50重量份;和

丙烯酸苄酯:50重量份,和苯基乙二醇二丙烯酸酯:50重量份。

2.根据权利要求1所述的压印用光固化性组合物,其进一步满足要求(2):

ECG值大于或等于2.43GPa。

3.根据权利要求1所述的压印用光固化性组合物,其进一步满足要求(3):

ECG/ENCG比为0.65以上且1.1以下,

其中,ENCG表示通过使所述压印用光固化性组合物在非冷凝性气体氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量,所述折合模量的单位为GPa。

4.一种在冷凝性气体氛围中的压印用光固化性组合物,其特征在于,所述组合物至少包括:

聚合性化合物组分(A);和

光聚合引发剂组分(B),并且

所述组合物满足要求(3):

ECG/ENCG比为0.65以上且1.1以下,

其中,ECG表示通过使所述压印用光固化性组合物在冷凝性气体氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量,所述折合模量的单位为GPa;并且ENCG表示通过使所述压印用光固化性组合物在非冷凝性气体氛围中在200mJ/cm2曝光量下曝光而制备的光固化膜的折合模量,所述折合模量的单位为GPa,所述折合模量是在所述压印用光固化性组合物曝光24小时之后通过Oliver-Pharr方法采用纳米刻痕机作为在200nm刻痕深度下的折合模量来确定的;

其中,不包括以下组成的组分(A):

在总计100重量份中,

丙烯酸苄酯:50重量份,和间苯二亚甲基二丙烯酸酯:50重量份;和

丙烯酸苄酯:50重量份,和苯基乙二醇二丙烯酸酯:50重量份。

5.根据权利要求1-4任一项所述的压印用光固化性组合物,其中所述聚合性化合物组分(A)是(甲基)丙烯酸系化合物。

6.根据权利要求1-4任一项所述的压印用光固化性组合物,其中所述聚合性化合物组分(A)由单官能(甲基)丙烯酸系化合物和多官能(甲基)丙烯酸系化合物组成。

7.根据权利要求1-4任一项所述的压印用光固化性组合物,其中所述组合物的粘度为5mPa*s以上且12mPa*s以下。

8.根据权利要求1-4任一项所述的压印用光固化性组合物,其中所述聚合性化合物组分(A)由选自丙烯酸异冰片酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸二环戊酯和丙烯酸二环戊烯酯的单官能丙烯酸酯以及选自苯基乙二醇二丙烯酸酯和间苯二亚甲基二丙烯酸酯的多官能丙烯酸酯组成。

9.根据权利要求1-4任一项所述的压印用光固化性组合物,其中所述光聚合引发剂组分(B)是烷基苯酮系聚合引发剂或酰基氧化膦系聚合引发剂。

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