[发明专利]具有选择性和边缘金属化的罩盖

权利要求书

1.一种制备罩盖的方法，包括：

将聚合物型掩模施加于板的第一表面，从而将所述板的所述第一表面分成由所述聚合物型掩模覆盖的中心区域和没有被所述聚合物型掩模覆盖的周边区域，其中所述板还具有第二表面以及将所述第一表面和第二表面接合在一起的侧壁；

通过使所述板的所述第一表面的所述周边区域和所述侧壁金属化来形成密封环，其中所述密封环由两个子层或三个子层形成，其中所述子层中的第一子层为镍，并且所述子层中的第二子层为金，所述第二子层设置在所述第一子层上方；以及

移除所述聚合物型掩模以获得所述罩盖，其中所述第一表面的所述中心区域没有被金属化。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述板由铍-铜、钼、青铜、玻璃、铁-镍-钴合金或选自氧化铝(Al₂O₃)、氧化铍(BeO)、氮化铝(AlN)、氧化锆增韧氧化铝(ZTA)、SiC和Si₃N₄的陶瓷制成。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述板具有0.5毫米至1毫米的厚度。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述板由非磁性材料形成。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述周边区域为所述板的所述第一表面的表面积的20%至35%。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述密封环由选自银、钯、铂、镍、金以及它们的合金的金属形成。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述密封环由非磁性金属形成。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述周边区域上的所述密封环具有0.5mm至1mm的宽度。

9.根据权利要求1所述的方法，其中所述周边区域上的所述密封环具有1微米(μm)至40μm的厚度。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述板为盘或矩形棱镜的形状。

11.根据权利要求1所述的方法，其中所述侧壁具有多个面。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括将焊料预成型件平头焊接到所述周边区域上的所述密封环。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述焊料预成型件具有200℃至350℃的熔融温度。

14.根据权利要求12所述的方法，其中所述焊料预成型件由金-锡合金、铅基合金或无铅合金形成。

15.根据权利要求1所述的方法，其中所述掩模为聚酰胺。

16.通过权利要求1所述的方法制造的罩盖。

17.一种罩盖，包括：

板，所述板包括第一表面、第二表面以及将所述第一表面和第二表面接合在一起的侧壁；

密封环，所述密封环在所述第一表面的周边区域连续施加并沿着所述板的整个所述侧壁延伸，其中所述密封环由镍子层和设置在所述镍子层上方的金子层形成，并且其中所述板的所述第一表面的中心区域是暴露的；以及

环形焊料预成型件，所述焊料预成型件连接至所述周边区域上的所述密封环，其中所述焊料预成型件不延伸到所述板的所述侧壁。

18.根据权利要求17所述的罩盖，其中所述板由铍-铜、钼、青铜、玻璃、铁-镍-钴合金或选自氧化铝(Al₂O₃)、氧化铍(BeO)、氮化铝(AlN)、氧化锆增韧氧化铝(ZTA)、SiC和Si₃N₄的陶瓷制成。