[实用新型]过滤装置、过滤系统及半导体机台

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其是一种过滤装置、过滤系统及半导体机台。

背景技术

晶圆的各项制程需要在机台上的反应腔内完成，所述反应腔与一干泵连接，所述反应腔中的废气中含有大量的液态或固态的制程副产物，这些液态或固态的制程副产物会随着废气进入到所述干泵中，导致所述干泵卡死，每年约有25％的所述干泵因为液态或固态的制程副产物卡死，造成所述反应腔内的晶圆报废，降低了产品的良率，增加了成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种过滤装置、过滤系统及半导体机台，已解决现有技术中泵因制程副产物卡死而失效的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种过滤装置、过滤系统及半导体机台，其中，所述过滤装置包括：主体结构，所述主体结构的一端设置有进气口，另一端设置有出气口；

冷凝柱，所述冷凝柱位于所述主体结构内；

过滤网，所述过滤网位于所述冷凝柱和所述主体结构的内壁之间，所述过滤网的一端与所述出气口连接。

优选的，在上述的过滤装置中，所述过滤装置还包括一冷凝管，所述冷凝管沿着所述冷凝柱的外壁设置。

优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝管设置有一进水端和一出水端，所述进水端和所述出水端位于所述主体结构的外部。

优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝管呈U型装套于所述冷凝柱的外壁上。

优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝管呈螺旋状沿着所述冷凝柱的侧壁设置。

优选的，在上述的过滤装置中，所述进气口位于所述主体结构一端的中心，所述出气口位于所述主体结构的另一端的中心。

优选的，在上述的过滤装置中，所述主体结构呈柱体形。

优选的，在上述的过滤装置中，所述冷凝柱的一端与所述进气口正对，另一端与所述出气口正对。

优选的，在上述的过滤装置中，所述进气口的横截面呈圆形，所述出气口的横截面呈圆形。

优选的，在上述的过滤装置中，所述进气口的横截面呈多边形，所述出气口的横截面呈多边形。

本实用新型又提供了一种过滤系统，包括如上所述的过滤装置，反应腔以及一泵，所述反应腔的出气口与所述过滤装置的进气口连接，所述过滤装置的出气口与所述泵的进气口连接。

本实用新型更提供了一种半导体机台，包括如上所述的过滤系统。

在本实用新型提供的过滤装置、过滤系统以及半导体机台中，反应腔中的废气从主体结构的进气口进入到主体结构中，废气中的粉尘被过滤网过滤掉，而废气中液态副产物经过冷凝柱的冷凝沉积在所述冷凝柱上，降低了废气中液态以及固态制程副产物的浓度，从而使得进入泵中的气体更加清洁，降低了所述泵因液态或者固态制程副产物卡死而失效的风险，提高了效率和产品良率，降低了成本。

附图说明

图1为本实用新型实施例中过滤系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中过滤装置的剖视图；

图中；101-反应腔；102-过滤装置；103-泵；

201-主体结构；202-主体结构的进气口；203-主体结构的出气口；204-冷凝柱；205-过滤网；206-冷凝管；207-进水端；208-出水端。

具体实施方式

下面将结合示意图对本实用新型的具体实施方式进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

本实用新型实施例提供了一种过滤系统，如图1所示，包括：反应腔101、一泵103以及一过滤装置102，所述反应腔101的出气口与所述过滤装置102的进气口连接，所述反应腔101中含有制程副产物的混合气体从所述反应腔101的出气口进入到所述过滤装置102中，经过所述过滤装置102的过滤，将其中大部分的制程副产物过滤掉，然后大大减少制程副产物含量的气体从所述过滤装置102的出气口进入到所述泵103的进气口，减少进入所述泵103的气体中制程副产物的含量，从而减小制程副产物在所述泵103中的沉积，降低所述泵103因制程副产物的沉积而卡死的风险，从而降低所述泵103因制程副产物沉积而失效的风险，提高生产效率，降低生产成本。