[发明专利]晶片封装体及其制造方法在审
申请号: | 201510098974.2 | 申请日: | 2015-03-06 |
公开(公告)号: | CN104900607A | 公开(公告)日: | 2015-09-09 |
发明(设计)人: | 李柏汉;郑家明;刘建宏 | 申请(专利权)人: | 精材科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/56;H01L21/60 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 中国台湾桃园市中*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 封装 及其 制造 方法 | ||
1.一种晶片封装体,其特征在于,包含:
一半导体晶片,具有一电子元件以及至少一导电垫,该导电垫与该电子元件电性连接且配置于该半导体晶片的一上表面;
一穿孔,自该半导体晶片的一下表面朝该上表面延伸并暴露出该导电垫;
一绝缘层,自该下表面朝该上表面延伸,部分该绝缘层位于该穿孔之中,其中该绝缘层具有一开口以暴露出该导电垫;
一重布局层,自该下表面朝该上表面延伸,部分该重布局层位于该穿孔之中,其中该重布局层通过该开口与该导电垫电性连接;以及
一封装层,自该下表面朝该上表面延伸,部分该封装层位于该穿孔之中。
2.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,该半导体晶片的该上表面是一平坦表面。
3.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,该穿孔包含:
一凹部,自该下表面朝该上表面延伸;以及
一导孔,自该凹部朝该上表面延伸,以暴露出该导电垫,
其中该凹部的一宽度大于该导孔的一宽度。
4.根据权利要求3所述的晶片封装体,其特征在于,该凹部的一深度大于该导孔的一深度。
5.根据权利要求4所述的晶片封装体,其特征在于,该导孔的一宽深比小于2。
6.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,进一步包含一导电结构,该导电结构位于该下表面下,且与该重布局层电性连接。
7.根据权利要求6所述的晶片封装体,其特征在于,该导电结构是指一锡球。
8.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,该电子元件是一感光元件。
9.根据权利要求8所述的晶片封装体,其特征在于,进一步包含:
一滤光层,配置于该上表面上。
10.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,进一步包含:
一耐磨层,配置于该上表面上。
11.根据权利要求1所述的晶片封装体,其特征在于,进一步包含:
一疏水层,配置于该上表面上。
12.一种晶片封装体的制造方法,其特征在于,包含:
提供一半导体晶圆,该半导体晶圆包含相邻排列的至少二半导体晶片,且具有一上表面及一下表面,各该半导体晶片的至少一侧具有位于该上表面的至少一导电垫;
形成至少二穿孔,该至少二穿孔分别对应该至少二半导体晶片,且自该下表面朝该上表面延伸,以暴露出各该导电垫;
形成一绝缘层,该绝缘层自该下表面朝该上表面延伸,部分该绝缘层位于所述穿孔之中,其中该绝缘层具有至少二开口以暴露出各该导电垫;
形成一重布局层,该重布局层自该下表面朝该上表面延伸,部分该重布局层位于所述穿孔之中,其中该重布局层通过该开口与各该导电垫电性连接;以及
形成一封装层,该封装层自该下表面朝该上表面延伸,部分该封装层位于所述穿孔之中。
13.根据权利要求12所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,形成该穿孔的步骤包含:
形成至少二凹部,该至少二凹部分别对应该至少二半导体晶片,所述凹部自该下表面朝该上表面延伸;以及
形成一导孔,该导孔自该凹部朝该上表面延伸,以暴露出该导电垫。
14.根据权利要求12所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,进一步包含形成至少二导电结构,该至少二导电结构分别对应该至少二半导体晶片且配置该下表面下,其中该导电结构与该重布局层电性连接。
15.根据权利要求14所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,该导电结构是指锡球。
16.根据权利要求12所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,进一步包含:
形成至少二焊接垫,该至少二焊接垫分别对应该至少二半导体晶片且配置该下表面下,且与该重布局层电性连接;以及
形成一焊接线,该焊接线与该焊接垫电性连接。
17.根据权利要求12所述的晶片封装体的制造方法,其特征在于,进一步包含:
形成一钝化层,该钝化层位于该上表面上且覆盖各该半导体晶片。
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