[发明专利]一种用封装模块封装半导体结构的方法在审
申请号: | 201410780793.3 | 申请日: | 2014-12-17 |
公开(公告)号: | CN104465417A | 公开(公告)日: | 2015-03-25 |
发明(设计)人: | 宋岩;闫俊尧;孙晓文 | 申请(专利权)人: | 大连泰一精密模具有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56 |
代理公司: | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人: | 花向阳 |
地址: | 116600 辽宁省大连*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 封装 模块 半导体 结构 方法 | ||
1.一种用封装模块封装半导体结构的方法,用封装模块把芯片(102)封装在基片(104)上,形成一个完整的半导体器件,其特征是:所述封装模块包括上封装模块(100)和下封装模块(122),封装模块具有一个合模面(108)、平滑面和型腔(110),平滑面是一个与合模面(108)相切的曲面并置于型腔(110)的开口处,当封装模块与携带芯片(102)的完整基片(104)连接时,合模面(108)接触并压基片(104);所述型腔(110)内部的壁顶面(134)与壁侧面(136)连接,型腔(110)内部的壁顶面(134)在基片(104)对面,型腔(110)内部的壁侧面(136)与平滑面连接,型腔(110)内部的壁顶面(134)和壁侧面(136)相互连接形成一夹角(138),平滑面和合模面(108)与一个切点(T1)相连,相互连接的切点(T1)在0.78-1.85 毫米之间的距离被分隔;所述型腔(110)内填充一种把芯片(102)封装在基片(104)上的密封胶。
2.根据权利要求1 所述的一种用封装模块封装半导体结构的方法,其特征是:所述平滑面采用第一平滑面(114)或采用第一平滑面(114)、第二平滑面(118)和第三平滑面(132)连续过渡的组合结构。
3.根据权利要求2 所述的一种用封装模块封装半导体结构的方法,其特征是:所述第一平滑面(114)采用圆表面的一部分时,第二平滑面(118)和第三平滑面(132)也采用圆表面的一部分,圆表面的曲率半径范围从0.1-2.0 毫米。
4.根据权利要求2 所述的一种用封装模块封装半导体结构的方法,其特征是:所述第一平滑面(114)采用椭圆表面的一部分时,第二平滑面(118)和第三平滑面(132)也采用椭圆表面的一部分,椭圆的主轴范围从0.1-1.17 毫米,短袖范围从0.1-1.0 毫米。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造