[发明专利]一种带有散热结构的器件封装结构及制造方法在审
申请号: | 201410295040.3 | 申请日: | 2014-06-25 |
公开(公告)号: | CN104064532A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 于中尧;郭学平 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所;华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L23/367;H01L21/56 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘杰 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 散热 结构 器件 封装 制造 方法 | ||
1.一种带有散热结构的器件封装结构,其特征在于,所述结构包括:
芯片;
基板,所述基板的第一面上设置有所述芯片;
限高凸点,所述限高凸点设置于所述基板的第一面上;
散热板,所述散热板设置于所述芯片和所述限高凸点上,且所述散热板与所述基板的第一面、所述限高凸点、所述芯片形成第一空间;所述限高凸点与所述散热板连接,使得所述基板的地电极与所述散热板通过所述限高凸点相连,形成电屏蔽;
塑封树脂,所述塑封树脂填充所述第一空间。
2.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述芯片还包括:
金属层,所述金属层设置于所述芯片的背面;
其中,所述芯片通过金属层与所述散热层形成热传导。
3.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述限高凸点为金属焊球材料。
4.如权利要求3所述的结构,其特征在于,所述限高凸点为有铅焊球或者为无铅焊球。
5.如权利要求1所述的结构,其特征在于,所述散热板为金属散热板。
6.一种带有散热结构的器件封装的制造方法,其特征在于,所述方法包括:
在基板的第一面上植限高凸点;
在所述基板的第一面上贴芯片;
将散热板放在所述限高凸点和所述芯片上,并经过回流将所述散热板与所述芯片、所述限高凸点键合起来;
填充树脂;
在所述基板的第二面植球,形成接地凸点。
7.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述填充树脂还包括:
将塑料材料通过毛细作用灌入所述封装结构中。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
通过真空排气的方法排除灌封过程中的气泡。
9.如权利要求6所述的方法,其特征在于,所述将所述散热板放在所述限高凸点和所述芯片上,并经过回流将所述散热板与所述芯片、所述限高凸点键合起来,还包括:
将所述基板的接地电路通过所述限高凸点、所述散热板与所述芯片的背面焊接在一起;
将所述芯片采用倒装焊方式键合到所述基板上。
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