[发明专利]一种半导体中异价金属离子掺杂的方法有效

专利信息
申请号: 201410136749.9 申请日: 2014-04-04
公开(公告)号: CN103887152A 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 张加涛;赵倩;钱红梅;桂晶 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: H01L21/06 分类号: H01L21/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 中异价 金属 离子 掺杂 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种半导体中异价金属离子掺杂的方法,属于半导体纳米材料的绿色制备及光电性能调控领域。

背景技术

半导体纳米晶具有与体材料不同的量子尺寸效应、量子限域效应、表面及界面效应等许多奇异特性,具有优越的发光及光电转换性能。II-VI族基半导体纳米晶及复合纳米晶的能带调控横跨紫外、可见及近红外区的全波段,是优良的发光二极管、高迁移率晶体管、热/红外探测、光电导以及太阳能电池材料。半导体之所以能被广泛应用在今日的光电世界中,凭借的是在其晶格中植入杂质改变其电性,优化半导体纳米晶体的光、电、磁特性,是高效率发光器件、太阳能电池、稀磁自旋电子器件等新型光电子器件制造的材料前提。因此,半导体纳米晶要实现在上述纳米器件中的应用,必须先解决纳米晶的掺杂这一关键的科学问题。在过去几十年内,半导体胶体纳米晶的尺寸、形貌、单分散性的精确调控已获得长足发展,有效掺杂成为目前半导体纳米晶的光电应用急需解决的问题。早在1996年,Alivisatos AP就提出要实现半导体纳米晶的广泛应用,必须先解决掺杂问题。2006年,Dalpian GM等应用动力学原理发现,纳米晶体积越小,杂质能级越深,掺杂需要的能量越大,掺杂越困难,导致纳米晶体难以掺杂的“自净化”(Self-purification)问题。表面掺杂(Surface doping)以及间隙位(Interstitial doping)掺杂的杂质原子易迁移到表面,降低实际的掺杂浓度。导致纳米晶体中杂质原子产生非均匀分布,对器件的工作性能和稳定性产生负面影响。另外,由于纳米晶体生长速度快,使掺杂过程较难控制。从发光性能应用角度看,因为量子点中的激子发光峰与激子吸收峰之间很小的Stokes位移而产生的自猝灭效应以及再吸收问题,会降低发光LED的发光效率。而掺杂发光会产生比激子发光较大的红移,能避免这些问题。但是目前的报道大多都是掺杂发光较弱。因此,开发低温、绿色的方法,实现半导体纳米晶的深度取代掺杂而不是表面掺杂,避免“自净化”问题,而且做到掺杂离子浓度的有效调控,获得高量子产率的掺杂发光;尤其是异价金属离子的深度取代掺杂(Substitutional doping),进而实现纳米晶的n型(多数电子)或p型(多数空穴)导电,是目前半导体掺杂要解决的首要科学问题。一旦突破,将会在半导体产业,包括信息、电子、太阳能电池、生物等领域有广泛的应用。

发明内容

针对现有技术中的缺陷,本发明的目的在于提供一种半导体中异价金属离子掺杂的方法,具体为一种在从量子点到微米纳米结构中深度的取代性掺杂的方法。本发明的目的是通过以下技术方案实现的:

一种半导体中异价金属离子掺杂的方法,所述方法步骤如下:

步骤1、将油酸、油胺加入到异价金属M的硫属化合物MxXy纳米颗粒溶胶中,搅拌均匀,得到混合物a;

异价金属M为一价的Cu,Ag;X为硫(S)、硒(Se)或碲(Te)的一种或多种,优选硫或硒;

步骤2、将混合物a中再加入镉盐的甲醇溶液,搅拌均匀,得到混合物b;

所述镉盐的质量浓度为0.1~0.2g/ml;所述镉盐优选为Cd(NO3)2·4H2O。

步骤3、将混合物b加入膦配体,于30~80℃搅拌反应2h~4h,洗涤离心,得到沉淀物c,将所得沉淀物c分散到非极性有机溶剂中,得到异价掺杂的半导体。

膦配体可为三丁基膦TBP、三正辛基膦、三苯基膦或亚磷酸三甲酯,优选膦配体为三丁基膦或三正辛基膦;

非极性有机溶剂为甲苯或正己烷;优选甲苯。

所述半导体为掺杂一价银离子和一价铜离子的半导体,呈现出零维纳米结构。

油酸、油胺、镉盐的甲醇溶液和膦配体的体积比为4:2:1:1-4:2:20:4。

其中,步骤1中银的硫属化合物溶胶制备方法为:将银的甲苯溶胶和非极性有机溶剂混合均匀,加入硫族元素的前驱体溶液,混合均匀后于30℃~70℃搅拌反应0.5h~1h,洗涤离心,得到沉淀物d,并将沉淀物d分散在非极性有机溶剂中,得到银的硫属化合物溶胶。

硫的前驱体溶液制备方法为:将油酸、油胺和硫粉加热搅拌溶解后得到溶液f,再用甲苯分散得到硫的前驱体溶液,其中油酸与油胺的体积比为2:1,油酸与硫粉的物质的量比为15.7:1,甲苯的体积为油酸和油胺的体积和。

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