[发明专利]具有非等长前臂的多轴机械手设备、电子装置制造系统、及用于在电子装置制造中传送基板的方法

说明书

相关申请

本申请主张于2012年11月30日提出申请的且题为“MULTI-AXIS ROBOT APPARATUS WITH UNEQUAL LENGTH FOREARMS,ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS,AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING(具有非等长前臂的多轴机械手设备、电子装置制造系统、及用于在电子装置制造中传送基板的方法)”的美国临时申请61/732,196的优先权，为了所有目的在此将上述申请并入本申请。

本申请还关于与本申请同日提出的且题为“MOTOR MODULES,MULTI-AXIS MOTOR DRIVE ASSEMBLIES,MULTI-AXIS ROBOT APPARATUS,AND ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS AND METHODS(马达模块、多轴马达驱动组件、多轴机械手设备、及电子装置制造系统与方法)”的美国专利申请___(代理人案号21509/FEG/SYNX/PJT)，为了所有目的在此将上述专利申请并入本申请。

技术领域

本发明涉及电子装置制造，更准确地说，涉及用于传送基板的设备、系统及方法。

背景技术

惯用电子装置制造系统可包括多个处理腔室及一个或更多个负载锁定腔室。这些腔室可被包括于例如可将多个腔室围绕传递腔室而分布的群集工具中。这些系统及工具可采用传递机械手，所述传递机械手可安置在例如传递腔室中，且经调适以在各个腔室与一个或更多个负载锁定腔室之间传送基板。例如，传递机械手可将基板自处理腔室传送至处理腔室、自负载锁定腔室传送至处理腔室，反之亦然。各个腔室之间的快速及精确的基板传送可提供高效的系统产量，由此降低总操作成本。

由此，需要用于有效及精确的基板移动的系统、设备及方法。

发明内容

在一态样中，提供一种多轴机械手。所述多轴机械手包括：经调适以围绕第一旋转轴线旋转的转臂；在转臂的外侧端以旋转方式耦接至转臂的第一前臂，且所述第一前臂被配置成围绕第二旋转轴线独立旋转；在转臂的外侧端以旋转方式耦接至转臂的第二前臂，且所述第二前臂被配置成围绕第二旋转轴线独立旋转，所述第二前臂比第一前臂短；在第一前臂的第一外部位置以旋转方式耦接至第一前臂的第一腕部部件，且所述第一腕部部件被配置成围绕第三轴线相对于第一前臂而独立旋转；及在第二外部位置以旋转方式耦接至第二前臂的第二腕部部件，且所述第二腕部部件被配置成围绕第四轴线相对于第二前臂而独立旋转。

在另一态样中，提供一种电子装置处理系统。所述电子装置处理系统包括：传递腔室；至少部分地被接收于传递腔室中的多关节机械手设备(multi-link robot apparatus)，所述多关节机械手设备具有：经调适以围绕第一旋转轴线旋转的转臂；在转臂的外侧端以旋转方式耦接至转臂的第一前臂，且所述第一前臂被配置成独立旋转；在转臂的外侧端以旋转方式耦接至转臂的第二前臂，且所述第二前臂被配置成独立旋转，所述第二前臂比第一前臂短；以旋转方式耦接至第一前臂的第一腕部部件，所述第一腕部部件被配置成相对于第一前臂而独立旋转；及以旋转方式耦接至第二前臂的第二腕部部件，且所述第二腕部部件被配置成相对于第二前臂而独立旋转。

在另一态样中，提供一种在电子装置处理系统内传送基板的方法。所述方法包括提供经调适以围绕第一旋转轴线旋转的转臂；提供在转臂的外侧端以旋转方式耦接至转臂的第一前臂；提供在转臂的所述外侧端以旋转方式耦接至转臂的第二前臂，所述第二前臂比所述第一前臂短；提供在第一前臂的外部位置以旋转方式耦接至第一前臂的第一腕部部件；提供在第二前臂的外部位置以旋转方式耦接至第二前臂的第二腕部部件；及独立旋转第一前臂、第二前臂、第一腕部部件及第二腕部部件以将基板从一个腔室传送至另一个腔室，及在传送期间将第二前臂移至高于第一前臂。

依据本发明的这些实施方式及其他实施方式而提供许多其他方面。本发明的实施方式的其他特征及方面将根据下文的详细描述、所附的权利要求书及附图而变得更为十分显而易见。

附图简单说明

图1A图示根据一些实施方式的包括多轴机械手设备的电子装置处理系统的俯视示意图。

图1B图示根据一些实施方式的多轴机械手设备的侧视图。

图1C图示根据一些实施方式的多轴机械手设备的俯视图。