[发明专利]固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法有效
申请号: | 201380060451.8 | 申请日: | 2013-07-17 |
公开(公告)号: | CN104798190B | 公开(公告)日: | 2017-04-05 |
发明(设计)人: | 威廉·T·维弗;查理斯·T·卡尔森;斯卡特·A·史密斯;麦可·A·贝克;亚隆·P·威波;詹姆斯·D·史瑞斯奈;罗伦斯·R·葛拉维;麦可·C·席梦思 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/687;C23C14/04 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人: | 马爽,臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工件 系统 承载 对准 方法 | ||
1.一种用于固持至少一个工件的系统,包括:
承载器,包括
多个壁,布置为栅格,其中所述壁中的四个界定单元的周边,其中所述单元经配置以固持工件;
沿着所述周边的第一侧边定位的一个对准销以及沿着所述周边的第二侧边定位的一个对准销,所述第二侧边邻近且垂直于所述第一侧边;
多个可移动突起,沿着所述单元的所述周边的第三侧边以及第四侧边定位,其中所述第三侧边以及所述第四侧边分别与所述第一侧边以及所述第二侧边相对,且其中所述可移动突起各自包括开口;以及
偏置构件,与所述可移动突起中的每一个连通以使得所述可移动突起自然地偏置到所述周边中;以及
致动器,经配置以进入所述可移动突起中的每一个中的所述开口,所述致动器使所述可移动突起远离所述周边而移动到固持位置。
2.根据权利要求1所述的用于固持至少一个工件的系统,还包括沿着所述第一侧边以及所述第二侧边定位的多个额外可移动突起,每一所述额外可移动突起与额外偏置构件连通以使得所述额外可移动突起自然地偏置远离所述周边。
3.根据权利要求2所述的用于固持至少一个工件的系统,其中所述额外可移动突起各自包括相应致动器进入所穿过的开口,所述相应致动器使所述额外可移动突起中的一个朝所述周边移动到所述额外可移动突起的固持位置。
4.根据权利要求2所述的用于固持至少一个工件的系统,还包括与所述第一侧边邻近的第二单元,其中沿着所述第一侧边的所述额外可移动突起做为沿着邻近的所述单元中的所述第三侧边的所述可移动突起。
5.根据权利要求1所述的用于固持至少一个工件的系统,还包括位于所述单元的底部的压板,所述压板包括至少一个开口,升降销延伸穿过所述开口以从所述单元移出所述工件。
6.根据权利要求1所述的用于固持至少一个工件的系统,包括设备,所述设备包括:
顶板,所述承载器设置在所述顶板上;
可移动致动器板,与第一线性致动器连通,包括自其向上延伸的所述致动器;以及
可移动升降板,与第二线性致动器连通,包括自其延伸的升降销以从所述承载器升起所述工件。
7.根据权利要求6所述的用于固持至少一个工件的系统,其中第一群组的所述致动器具有第一高度,且第二群组的所述致动器具有小于所述第一高度的第二高度,且其中所述第一群组的所述致动器中的一个与所述第四侧边的所述可移动突起中的所述开口对准,且所述第二群组的所述致动器中的一个与所述第三侧边上的所述可移动突起中的所述开口对准,以使得当所述可移动致动器板移动远离所述承载器时,在所述第四侧边上的所述可移动突起变得与所述第一群组的所述致动器脱离之前,所述第三侧边上的所述可移动突起变得与所述第二群组的所述致动器脱离。
8.一种用于固持一个或一个以上工件的承载器,包括:
多个壁,布置为栅格,其中所述壁中的四个界定单元的周边,其中所述单元经配置以固持工件;
沿着所述周边的第一侧边定位的一个对准销以及沿着所述周边的第二侧边定位的一个对准销,所述第二侧边邻近且垂直于所述第一侧边;
多个可移动突起,沿着所述单元的所述周边的第三侧边以及第四侧边定位,其中所述第三侧边以及所述第四侧边分别与所述第一侧边以及所述第二侧边相对,且其中所述可移动突起具有固持位置以及自然偏置位置;以及
偏置构件,与所述可移动突起中的每一个连通以使得所述可移动突起在处于所述自然偏置位置时自然地偏置到所述周边中。
9.根据权利要求8所述的用于固持一个或一个以上工件的承载器,还包括沿着所述第一侧边以及所述第二侧边定位的多个额外可移动突起,每一所述额外可移动突起与额外偏置构件连通以使得所述额外可移动突起在所述自然偏置位置自然地偏置远离所述周边。
10.根据权利要求9所述的用于固持一个或一个以上工件的承载器,其中所述额外可移动突起各自包括致动器进入所穿过的开口,所述致动器使所述额外可移动突起朝所述周边移动到所述额外可移动突起的固持位置。
11.根据权利要求9所述的用于固持一个或一个以上工件的承载器,还包括与所述第一侧边邻近的第二单元,其中沿着所述第一侧边的所述额外可移动突起做为沿着邻近的所述单元中的所述第三侧边的所述可移动突起。
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