[实用新型]监测漏电的结构有效
| 申请号： | 201320588432.X | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN203481225U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 钟怡 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 监测 漏电 结构 | ||
1.一种监测漏电的结构，用于监测不同层之间的漏电情况，其特征在于，所述结构包括：
同层监测结构、相邻监测层以及形成于所述同层监测结构和所述相邻监测层之间的介质层，其中，所述相邻监测层包括导电层以及与所述导电层相连的导电线。
2.如权利要求1所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述导电层的材质为多晶硅或铜。
3.如权利要求1所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述导电线的材质为铜。
4.如权利要求1所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述相邻监测层还包括第一测试盘，所述第一测试盘与所述导电线相连。
5.如权利要求4所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述第一测试盘的材质为铝。
6.如权利要求1所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述同层监测结构包括第一金属盘、第二金属盘、连接所述第一金属盘和第二金属盘的蛇形金属线以及靠近所述蛇形金属线的两根插指金属线。
7.如权利要求6所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述第一金属盘、第二金属盘、蛇形金属线以及插指金属线的材质均为铜。
8.如权利要求6所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述插指金属线连有第二测试盘和第三测试盘。
9.如权利要求8所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述第二测试盘和第三测试盘的材质为铝。
10.如权利要求6所述的监测漏电的结构，其特征在于，所述蛇形金属和插指金属线之间形成有介质层。
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