[实用新型]光刻机的硅片传输机械手控制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种光刻机的硅片传输机械手控制器。

背景技术

如图1所示，现有用在光刻机上的硅片传输机械手控制器架构可分为三层：即决策层、处理层和执行层。分别由系统控制卡、DSP运动控制卡、驱动控制卡和功率放大卡与其相对应，位于决策层的系统控制卡通过VME总线发送指令给DSP运动控制板卡；位于处理层的运动控制卡负责解析并执行系统控制卡的控制指令；位于执行层的驱动控制卡和功率放大卡则负责按处理层的要求控制机械手各轴电机的运行。系统控制卡通过VME总线与机械手轴运动控制的DSP运动控制板卡进行通讯；DSP运动控制卡通过HSSL通道与驱动控制卡通讯；驱动控制卡负责解析DSP运动控制卡下发的数字控制指令；驱动控制卡和功率放大卡一起控制各轴电机的动作，接受电机的位置反馈信号、限位信号及其它传感器信号，并把信号上传到运动控制卡，驱动控制卡和功率放大卡通过背板连接。

系统控制卡和DSP运动控制板卡以VME总线方式通过背板连接，DSP运动控制卡和驱动控制卡通过HSSL通道连接，驱动控制卡和功率放大卡通过背板连接，控制系统占用空间大，电气可靠性差，系统集成度降低；机械手的控制信号从系统控制卡到功率放大板卡，信号传递和转接很多次，降低系统可靠性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻机的硅片传输机械手控制器，能够去掉连接背板，将决策层、处理层和执行层集成在一块板卡上，减小机械手控制器占用空间，提高电气可靠性，提高系统可靠性。

为解决上述问题，本实用新型提供一种光刻机的硅片传输机械手控制器，包括：

包括系统控制模块、DSP运动控制模块、驱动控制模块和四个功率放大模块，其中，

所述系统控制模块与所述DSP运动控制模块通过HPI接口完成数据通讯；

所述DSP运动控制模块和所述驱动控制模块应用EMIF接口完成数据通讯；

所述驱动控制模块分别与四个功率放大模块应用XINTF接口完成数据通讯。

进一步的，在上述控制器中，所述系统控制模块包括网络接口、以太网通讯单元、232串行通讯接口、232串口通讯单元、P0口接插件、第一时钟模块、第一ROM存储单元、第一RAM存储单元、MPC8641D单元和LBC接口，其中，所述MPC8641D单元分别与所述以太网通讯单元、232串口通讯单元、第一时钟模块、第一ROM存储单元、第一RAM存储单元、P0口接插件和LBC接口连接，所述以太网通讯单元与所述网络接口连接，所述232串口通讯单元与232串行通讯接口连接，所述网络接口与一上位机连接，所述LBC接口与所述DSP运动控制模块的一HPI接口连接。

进一步的，在上述控制器中，所述网络接口为带LED接头RJ45；

所述232串行通讯接口为DB9标准接插件；

所P0口接插件为VME标准接插件；

所述以太网通讯单元和网络接口与所述上位机进行网络通讯；

所述232串口通讯单元和232串行通讯接口与所述上位机进行串行通信；

所述第一时钟模块产生所述MPC8641D单元工作所需的时钟信号；

所述第一ROM存储单元存放所述MPC8641D单元的配置文件、部分机器常数和一些表格参数，以及固件程序；

所述第一RAM存储单元连接到一外部存储器接口，作为扩展的存储空间，用于数据和程序的缓存；

所述MPC8641D单元为所述系统控制模块的主CPU，负责机械手各工位之间的运动轨迹规划和硅片交接流程管理；

所述LBC接口是MPC8641D单元的局部总线控制接口，通过配置所述LBC接口的输入引脚和输出引脚的控制功能，使得LBC接口与所述DSP运动控制模块HPI接口直接连接，并进行数据通讯。

进一步的，在上述控制器中，所述DSP运动控制模块包括485串行通讯接口、485串行通讯单元、P1口接插件、第二时钟模块、第二RAM存储单元、TMS320C6713单元、HPI接口和第一EMIF接口，其中，所述TMS320C6713单元分别与485串行通讯单元、第二时钟模块、第二RAM存储单元、P1口接插件、HPI接口和第一EMIF接口连接，所述第一EMIF接口与驱动控制模块的一第二EMIF接口连接。

进一步的，在上述控制器中，所述485串行通讯接口为DB9标准接插件；

所述P1口接插件为VME标准接插件；

所述485串口通讯单元与硅片传输机械手的硅片传输工件台垂向电容传感器通讯，并用于所述DSP运动控制卡的独立调试；