[实用新型]光刻机的硅片传输机械手控制器

权利要求书

1.一种光刻机的硅片传输机械手控制器，其特征在于，包括系统控制模块、DSP运动控制模块、驱动控制模块和四个功率放大模块，其中，

所述系统控制模块与所述DSP运动控制模块通过HPI接口完成数据通讯；

所述DSP运动控制模块和所述驱动控制模块应用EMIF接口完成数据通讯；

所述驱动控制模块分别与四个功率放大模块应用XINTF接口完成数据通讯。

2.如权利要求1所述的光刻机的硅片传输机械手控制器，其特征在于，所述系统控制模块包括网络接口、以太网通讯单元、232串行通讯接口、232串口通讯单元、P0口接插件、第一时钟模块、第一ROM存储单元、第一RAM存储单元、MPC8641D单元和LBC接口，其中，所述MPC8641D单元分别与所述以太网通讯单元、232串口通讯单元、第一时钟模块、第一ROM存储单元、第一RAM存储单元、P0口接插件和LBC接口连接，所述以太网通讯单元与所述网络接口连接，所述232串口通讯单元与232串行通讯接口连接，所述网络接口与一上位机连接，所述LBC接口与所述DSP运动控制模块的一HPI接口连接。

3.如权利要求2所述的光刻机的硅片传输机械手控制器，其特征在于，

所述网络接口为带LED接头RJ45；

所述232串行通讯接口为DB9标准接插件；

所P0口接插件为VME标准接插件；

所述以太网通讯单元和网络接口与所述上位机进行网络通讯；

所述232串口通讯单元和232串行通讯接口与所述上位机进行串行通信；

所述第一时钟模块产生所述MPC8641D单元工作所需的时钟信号；

所述第一ROM存储单元存放所述MPC8641D单元的配置文件、部分机器常数和一些表格参数，以及固件程序；

所述第一RAM存储单元连接到一外部存储器接口，作为扩展的存储空间，用于数据和程序的缓存；

所述MPC8641D单元为所述系统控制模块的主CPU，负责机械手各工位之间的运动轨迹规划和硅片交接流程管理；

所述LBC接口是MPC8641D单元的局部总线控制接口，通过配置所述LBC接口的输入引脚和输出引脚的控制功能，使得LBC接口与所述DSP运动控制模块HPI接口直接连接，并进行数据通讯。

4.如权利要求2所述的光刻机的硅片传输机械手控制器，其特征在于，所述DSP运动控制模块包括485串行通讯接口、485串行通讯单元、P1口接插件、第二时钟模块、第二RAM存储单元、TMS320C6713单元、HPI接口和第一EMIF接口，其中，所述TMS320C6713单元分别与485串行通讯单元、第二时钟模块、第二RAM存储单元、P1口接插件、HPI接口和第一EMIF接口连接，所述第一EMIF接口与驱动控制模块的一第二EMIF接口连接。

5.如权利要求4所述的光刻机的硅片传输机械手控制器，其特征在于，

所述485串行通讯接口为DB9标准接插件；

所述P1口接插件为VME标准接插件；

所述485串口通讯单元与硅片传输机械手的硅片传输工件台垂向电容传感器通讯，并用于所述DSP运动控制卡的独立调试；

所述第二时钟模块产生所述TMS320C6713单元的外部时钟信号；

所述TMS320C6713单元集成了第一锁相环PLL模块，所述第一锁相环PLL模块对所述外部时钟信号进行倍频，以产生所述TMS320C6713单元所需的时钟；

所述第二RAM存储单元连接到一外部存储器接口，作为扩展的存储空间，用于数据和程序的缓存；

所述TMS320C6713单元为所述DSP运动控制模块的CPU，用于接收来自所述HPI接口的各种指令与数据，并对指令进行解释与处理，并完成所述DSP运动控制模块上所有信号的调度与控制，生成光刻机的硅片传输机械手的各控制轴电机所需的指令信号，及接收来自所述第一EMIF接口的各种反馈数据，对所述反馈数据进行运算处理，输出到所述系统控制模块；

所述HPI接口为所述TMS320C6713单元的主机通讯接口，用于接收所述系统控制模块的指令与数据，并用于在光刻机的硅片传输机械手控制器上电时，将存储在所述第一ROM存储单元的固件程序加载到所述DSP运动控制模块中；

所述第一EMIF接口下发各控制轴电机所需的指令信号和接收所述驱动控制模块的反馈数据。