[实用新型]一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器

说明书

本实用新型涉及一种防爆器，尤其涉及一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器。

在半导体器件的应用方面，随着碳化硅生产成本的降低，碳化硅单晶由于其优良的物理及电学性能而部分取代单晶硅，打破单晶硅由于材料本身性能的瓶颈，将给电子业带来革命性的变革。目前碳化硅单晶的主要应用领域有LED固体照明，高频率器件，高压功率元件和耐高温的集成电路芯片，这些应用给碳化硅单晶提供巨大的增长需求，同时晶体生长设备‑单晶生长炉也随之需要飞速的发展。碳化硅单晶生长炉属于高压真空密封装置，对真空泄漏率的要求很高。由于其工作状态的特殊性，当炉内出现意外情况，例如漏水、误操作等，炉内气压瞬间成万倍数量级增长，严重时甚至会造成单晶炉体爆炸，危及生命财产安全。

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，克服现有技术中由于高压真空炉出现漏水或者意外误操作导致炉体内气压快速增大，由于泄压不及时可能导致炉体爆炸的危险的缺陷。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，包括法兰盘、O型密封圈、泄压盲板、端部带有螺纹的导杆及压缩弹簧，

所述法兰盘垂直安装在所述碳化硅单晶炉真空管道的下端，所述泄压盲板上设置有通孔，所述泄压盲板设置在所述法兰盘的下方；所述导杆一端穿过所述泄压盲板上的通孔与所述法兰盘螺纹连接；所述法兰盘与所述泄压盲板之间通过O型密封圈密封；所述压缩弹簧套设在所述导杆上，所述导杆另一端安装在基座上。其中压缩弹簧在导杆上形成一定的变形量，实现整体结构的密封。

本实用新型的有益效果是：由于在真空管道的下端设置有泄压盲板及与真空管道连接的法兰盘，导杆穿过法泄压盲板上的通孔与法兰盘固定连接，可以泄压盲板的自重和炉内所需要的开启压力确定出弹簧的压缩量，通过导杆上部的螺纹旋入法兰盘，当旋转到位后固定，当真空管道的压力大于按照规定开启的压力时，压缩弹簧被进一步压缩，泄压盲板位置向下移动，与真空焊接法兰产生间隙，炉内部分气体从空隙出排出，从而使炉内压力下降。压缩弹簧由于受导杆下端面限制，积蓄弹性势能，当炉内压力下降到低于开启压力时，密封接触面重新结合，恢复密封状态，继续运行。该结构将自动的、持续的防治因炉内压力过高产生的不稳定状态，并且密封性好，磨损小，结构简单，可长期重复使用。整个过程无需人工操作，自动完成。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述导杆为8个，其均通过导杆上端的螺纹与所述法兰盘连接。可以根据真空管道管径的大小确定导杆及弹簧的个数。

进一步，所述O型密封圈为氟橡胶O型密封圈。

图1为本实用新型一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器的轴测图；

图1为本实用新型一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器的轴测图；

图2为本实用新型一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器的剖面示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、真空管道，2、法兰盘，3、O型密封圈，4、导杆，5、压缩弹簧，6、泄压盲板。

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1、图2所示本实用新型一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，包括法兰盘2、O型密封圈3、泄压盲板6、端部带有螺纹的导杆4及压缩弹簧5；

所述法兰盘2垂直安装在所述真空管道1的下端，可以通过焊接的方式固定在所述碳化硅单晶炉真空管道1的下端；所述泄压盲板6上设置有8个通孔，所述泄压盲板6设置在所述法兰盘2的下方；通过8个导杆4上端穿过所述泄压盲板6上的通孔与所述法兰盘2螺纹连接，所述压缩弹簧5套设在所述导杆4上，且具有一定变形量。泄压盲板6可以沿垂直的导杆上下运动，泄压盲板的滑动受到法兰盘2、压缩弹簧5的约束；所述法兰盘2与所述泄压盲板6之间通过O型密封圈3密封，其中所述O型密封圈3为氟橡胶O型密封圈，可以实现泄压盲板6与法兰盘2之间完全密封。导杆的下端固定在基座上，且所述的导杆通常是等高设置。

本实用新型的工作原理：

首先根据泄压盲板的自重和炉内所需要的开启压力确定出弹簧的压缩量，通过导杆上部的螺纹旋入法兰盘，当旋转到根据泄压盲板的自重和炉内所需要的开启压力确定出的弹簧压缩量的位置后固定。

当真空管道的压力大于按照规定开启的压力时，压缩弹簧被进一步压缩，泄压盲板位置向下移动，与真空焊接法兰产生间隙，炉内部分气体从空隙出排出，从而使炉内压力下降。