[实用新型]一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器有效
| 申请号： | 201320018486.2 | 申请日： | 2013-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN203096234U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 赵梅玉;高宇;段聪;邓树军;陶莹 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00;F27D21/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 102206 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 单晶炉 真空 管道 防爆 | ||
【权利要求书】：
一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，其特征在于，包括法兰盘、O型密封圈、泄压盲板、端部带有螺纹的导杆及压缩弹簧，
所述法兰盘垂直安装在所述碳化硅单晶炉真空管道的下端，所述泄压盲板上设置有通孔，所述泄压盲板设置在所述法兰盘的下方；所述导杆上端穿过所述泄压盲板上的通孔与所述法兰盘螺纹连接；所述法兰盘与所述泄压盲板之间通过O型密封圈密封；所述压缩弹簧套设在所述导杆上；所述导杆下端安装在基座上。
根据权利要求1所述一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，其特征在于，所述导杆为8个，其均通过导杆上端螺纹与所述法兰盘连接。
根据权利要求1或2所述一种碳化硅单晶炉真空管道上的防爆器，其特征在于，所述O型密封圈为氟橡胶O型密封圈。
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