[发明专利]一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法在审

专利信息
申请号: 201310508123.1 申请日: 2013-10-24
公开(公告)号: CN104567854A 公开(公告)日: 2015-04-29
发明(设计)人: 徐皑冬;刘明哲;王晨曦;金妮 申请(专利权)人: 中国科学院沈阳自动化研究所
主分类号: G01C21/00 分类号: G01C21/00
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 周秀梅;许宗富
地址: 110016 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 面向 半导体 生产线 搬运 系统 天车 路线 规划 方法
【说明书】:

技术领域

发明涉及一种天车的路径规划算法,具体说是一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法。

背景技术

在现代的半导体生产线中,随着生产自动化层度的提高,自动搬运系统应用越来越广泛。由于半导体生产线中的加工设备及晶圆盒存储设备分布在厂区各位置,导致搬运系统轨道路线复杂。如何快速有效的对加工材料进行搬运能够提高企业的生产效率。常见的半导体生产线应用的搬运系统中,天车运动路线并不是最短路线,达不到最优搬运需求。

发明内容

针对上述技术不足,本发明的目的提供一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法。该方法可以在复杂的轨道环境中,快速的提供给天车最短的移动路线。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法,包括以下步骤:

1)服务器根据天车所行驶轨道上设置的关键点记录其坐标,道岔处设定为两方向完全连通状态;

2)根据关键点拆分轨道,根据相邻的两个关键点及其间的轨道构建有向图;

3)将天车出发点设为起点,按有向图的路线方向查找关键点,并计算关键点坐标与目标点的距离,并将查到的关键点依次存入列表;

在岔道处,分别计算两个分支的关键点与目标点的距离,选取距离小的路线并将查到的关键点依次存入列表,放弃的关键点依次存入备选列表;最后查找的关键点作为起点,按有向图方向依次查找下一个关键点,直到找到目标点;

4)服务器将列表内的点从起点至目标点列出关键点序列发送给天车,天车根据关键点序列从起点移动至目标点。

所述关键点包括加/减速点、物料装载/卸载点。

所述根据相邻的两个关键点及其间的轨道构建有向图具体为:将两个关键点作为有向图的顶点,两点间的轨道作为有向图的边;按轨道正方向为有向图的方向;相邻两个顶点间的边只能有一条单向的边。

所述步骤3)中若选取岔道的线路没有下一关键点,则从备选列表里选择最后一个放弃的关键点开始查找。

本发明具有以下有益效果及优点:

1.本发明方法面向半导体生产线的搬运系统,可应对轨道复杂的情况,快速查找出搬运起点至目地点的最短路线,提高天车运行效率。

2.本发明方法主要是将铺设的轨道数据构建成连通的有向图,通过搜索算法快速找出最短路线,提高天车运输效率。

3.本发明方法在路线选择时可以剔出循环的路线,避免天车运动进入死循环状态。

4.本发明方法把岔道处理成两个方向的连通状态,以静态的方式把岔道连通方向可变的动态性简化,提高路线搜索效率。

附图说明

图1是本发明的有向轨道图;

图2是由轨道图构建有向图的流程图;

图3是本发明的搜索路径方法流程图;

图4是生成天车路线流程图。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明做进一步的详细说明。

本发明为一种面向半导体生产线搬运系统天车路线规划方法,实质上是一种搜索算法,包括:铺设的轨道设置关键点并记录坐标,道岔处假定为两方向完全连通状态;拆分轨道数据,以关键点及两点间的轨道构建有向图;从起点开始按有向图方向查找路线并以关键点坐标计算与目标点的距离,找出最短路线。在路线查找过程中,不考虑多台天车的影响,假定整个地图上只存在一台天车,目的是找出最短路线。查找出的路线信息是提供给多天车协调的参考。具体包括如下步骤:

1.铺设的轨道设置关键点并记录坐标,道岔处设定为两方向完全连通状态;

其中铺设的轨道设置关键点并记录坐标的处理过程:

根据轨道类型及天车在轨道上的关键位置,如加减速点,物料装载卸载点等设置关键点。目标点是关键点之一。

关键点的坐标在绘制轨道图时指定其绘图坐标系的坐标点,可以用于服务器的图像位置显示。

另外,道岔处设定为两方向完全连通状态,其处理过程:

从道岔起点分别向两个分支点连接,构建有向图的两条边,不考虑道岔实际运行时只能连通一个分支。

2.拆分轨道数据,以关键点及两点间轨道构建有向图;

其有向图方向定义为:针对半导体生产线搬运系统使用的轨道只允许一台天车通过,轨道路线按顺时针为正方向。天车移动按正方向行驶,不可逆行。

其中,以关键点及两点间轨道构建有向图,关键点作为图的顶点,两点间的轨道作为图的边。按轨道正方向为有向图的方向。相邻两个顶点间的边只能有一条单向的边。

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